"크라이오 흡착펌프"의 검색결과 입니다.

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진공펌프 AR coating bayard-alpert gauge 반도체공정실습 진공,플라즈마 cvd

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"크라이오 흡착펌프" 검색결과 21-35 / 35건

cvd

함 불규칙한 운동을 하는 분자의 pumping 확률을 높임.펌프의 종류 및 원리1. 로터리 펌프 2. 오일 확산 펌프 3. 터보분자 펌프펌프의 분류작동 압력저진공 펌프 로터리 펌프 ... 셕션 펌프 Dry진공 펌프(oil free)고진공펌프 오일확산 펌프 터보분자 펌프 크라이오 펌프초고진공펌프 티타늄 승화 펌프 이온 펌프 무증발 Non-Evaporable 펌프작동 ... 하여 기체를 흡입하고 압축. 이온 펌프 등Rotary Vane Pump가장 많이 쓰이는 진공펌프 약 10-3 Torr 정도 압력 1500-2000 rpm 산업 전반에 가장 많이 쓰임

리포트 | 50페이지 | 2,000원 | 등록일 2009.05.11

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[박막공학]진공펌프의 종류와 진공게이지

는 인위적으로 진공을 만드는데 사용 되고 있으며 진공을 만드는 정도와 방법에 따라 여러 종류의 진공 펌프가 존재한다.진공 펌프의 종류확산 펌프, 터보분자펌프, 흡착 펌프, 저온 냉각 ... 펌프진공코팅, 진공 동결건조, 진공합금, 신소재 합금10-3Torr-10-7Torr고진공터보분자펌프, 흡착 펌프, 저온 냉각 펌프원자핵 연구 장치, 전자 현미경, 플라즈마 발생기 ... 진공건식 로타리 베인 펌프, 급유식 로타리 베인 펌프 , 냉매 가스 주입용진공 흡착 이송, 인쇄기 자동급지, 진공 농축 반응기,분말 충진, 진공 성형,진공포장대기압-1Torr저진공

리포트 | 19페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.10.21

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주조응고실습 진공도 및 압력 측정 예비 + 결과 + 고찰 보고서

라고 할 수 있다. 흡착 펌프(sorption pump)나 냉온 펌프 (cryopump), 이온 펌프(ion pump)가 이에 속한다.? 진공게이지진공게이지란 진공의 정도를 측정 ... (rotary vane pump), 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump)등 대부분의 기계적인 펌프가 이에 속한다.? entrapment 펌프 : 배기시킨 기체가 여전히 ... 진공 용기나 펌프 속에 남아 있는 경우.‘포획 펌프(capture pump)'라고도 부른다. 진공 용기 내부의 공간으로 부터 기체분자수를 제거하면 압력이 낮아지므로 이런 것들도 펌프

리포트 | 12페이지 | 2,500원 | 등록일 2010.03.16

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[반도체공정]진공펌프의 종류와 원리

PumpsConclusionMechanical Pump는 게터펌프나 이온펌프, 크라이오펌프와 같이 초고진공용으로 쓰기는 어렵지만, 저·중진공용 펌프 그리고 보조펌프로서 알맞다 대기압에서 중·고 ... 진공펌프의 종류와 원리목 차진공 -진공상태 용도 진공펌프 -진공 펌프의 종류 Roughing pumps Rotary vane oil-sealed pump Rotary piston ... 펌프는 인위적으로 진공을 만드는데 사용 되고 있으며 진공을 만드는 정도와 방법에 따라 여러 종류의 진공 펌프가 존재한다.진공 펌프의 종류확산 펌프, 터보분자펌프, 흡착 펌프, 저온

리포트 | 27페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.11.09

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진공펌프의 종류와 용도

(ionization pump) 에서도 보겠지만 흡착펌프와 같이 배기해 낸 기체를 펌프 내부에 가두고 있는 그런 경우를 capture 펌프라고 분류하기도 한다. 이런 펌프의 특징은 펌프가 가둘수 ... 수송식 펌프(Gas transfer vacuum pump)와 기체 흡장식펌프(Entrapment vacuum pump)로 구분되어 진다. 기체 수송식 펌프는 기체를 진공용기 외부 ... apture pump)'라고도 부른다. 진공용기 내부의 공간으로부터 기체분자수를 제거하기만 하면 압력이 낮아진다. 진공박식에 따른 진공펌프의 분류는 Fig. 1에 표현하였다.Fig

리포트 | 20페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.05.10

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[공학]진공과학, 플라즈마, CVD, 스퍼터링, 진공증착

로 하는 금속조각을 증발시킴으로써 관벽에 막을 만들어 전극에서 나오는 기체를 이것에 흡착시킨다.2. 진공펌프흡입하는 기체의 압력은 대기압에서 절대진공에 가까운 정도까지 이른다. 형식 ... 의 구조와 원리 >⑶ 크라이오 펌프120K이하의 극저온 상태에서 기체를 응결 시키거나 응결체 안에 가두어 둠으로써 진공 상태를 발생시키는 장치, 냉각 매체로는 주로 액화질소나 액화 ... 헬륨을 사용하는데, 초고진공 영역에서 배속도가 매우 크므로, 우주선 실험 등 여러 분야에서 높은 진공도를 얻는데 많이 쓰이고 있다.< 크라이오 펌프의 구조와 원리 >⑷ 터보 분자

리포트 | 10페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.04.17 | 수정일 2022.03.09

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ESCA(XPS)원리와 특징

, 물리연구, 우주실험10-9 ~ 이하극고진공 (Extremely High Vacuum)터보분자, 저온냉각, 크라이오 펌프전자현미경, 표면연구, 재료분석10-6 ~ 10-9 Pa초고 ... 진공 (Ultra High Vacuum)터보분자, 승화, 이온, 저온냉각 펌프진공코팅, 용접, 합금10-1 ~ 10-6 Pa고진공 (High Vacuum)확산, 흡착, 피스톤 펌프 ... 진공동결건조, 소결, 열처리10 2 ~ 10-1 Pa중진공 (Medium Vacuum)로타리, 왕복동식, 드라이 펌프진공흡착, 농축10 5 ~ 10 2 Pa저진공 (Low

리포트 | 34페이지 | 2,000원 | 등록일 2007.06.11

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[재료공학]DC Sputtering시 진공펌프의 종류

)? 확산 펌프 (DIFFUSION PUMP)? 이젝타펌프 (STEAM EJECTOR/GAS EJECROR)? 흡착 펌프 (ABSORPTION PUMP)? 이 온 펌프 ( ION PUMP ... 베인 펌프 (DRY-RUNNING ROTARY VANE PUMP)? 만유식 로타리 베인 펌프 (OIL FLOODED ROTARY VANE PUMP)? 순환 급유식 로타리베인 펌프 ... (OIL CIRCULATED INJECRED ROTARY VANE PUMP)? 배출 급유식 로타리 베인 펌프 (ONCE -THROUGH OIL INJECTED ROTARY

리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.11.18

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[반도체]기판과 열처리에 따른 Co 박막의 비저항 및 내부조직 변화 관찰

그래프(2) 펌프의 종류- 가스 이동 펌프가스 분자를 펌핑에 의해 다른 곳으로 이동시켜 압력을 낮춤.a) Positive Displacement Pump, 기계식 로타리 펌프 ... , 루츠(Roots) 펌프b) Kinetic Vacuum Pump, 디퓨전 펌프, 터보 펌프- 가스 Entrapment 펌프Chamber 속에 장착된 장치 표면에 가스 분자를 응집 ... 되게 하거나 화학적 반응에 의해 달라 붙게 해서 시스템의 압력을 낮춤.흡착 (adsorption), 스퍼터 이온 (sputter-ion), 극저온 (cryogenic) 펌프- 기계식

리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.04.10

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[표면처리] 진공펌프

의 10％ 이내이다.□ 크라이오 펌프 (Cryo Pump)크라이오 펌프는 기체를 아주 차갑게 하여 펌프 내에서 얼거나 붙잡혀 있도록 배기하는 아주 독특한 펌프이다. 이 펌프는 오일을 안 ... ▣ 펌프 (PUMP)진공시스템에 알맞은 펌프를 선택하는 것은 중요하다. 여러 펌프들이 진공 작업에 사용된다. 어떤 펌프는 진공용기로부터 기체를 제거하고, 그 외의 다른 펌프 ... 된다.가)펌프모듈펌프 모듈은 다음 중요 성분들로 구성된다.팽창기 모듈, 1단계와 2단계 크라이오 어레이, 퍼프몸통, 2단계 온도 모니터 그리고 압력 교체밸브팽창기는 냉동이 만들어지는 곳이

리포트 | 13페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.01.05

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진공 펌프

。K 사이에서 동작하며,2단계 또는 콜드헤드는 10。K와 20。K 사이에서 작동한다. 크라이오 어레이에서 진공 용기의 기체들은 응축되고 흡착된다. 펌프 몸체는 진공 용기에 펌프 ... 흡사하게 작동하며, 크라이오 펌프는 냉각수가 대기중으로 방출되지 않는 폐루프 냉장 시스템이다.[구성]{크라이오 펌프는 펌프 모듈과 컴프레서 모듈로 구성된다. 이런한 두 개의 모듈 ... 은 진공펌프를 써서 용기 속의 기체분자를 뽑아내어 얻게 되는데 진공도를 유지하는 데는 진공펌프를 계속 동작시키면서 작업하는 진공건조기와 같은 조립장치나, 전구·진공관처럼 배기 후

리포트 | 24페이지 | 1,500원 | 등록일 2003.06.15

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CRYOGENIC PUMP(발표용)

CRYOGENIC PUMP1. 펌프의 구성가. PUMP MODULE나. COMPRESOR MODULE2. 펌프의 동작원리가. 크라이오 응축 (Cryocondensation)나 ... 으로 뽑아냄피스톤, 오일회전, 터보, 확산기 체 축 적 펌 프가스를 용기에 붙어있는 펌프내에 저장섭션, 게터, 서블리메이션,이온, 크라이오 펌프《CRYOGENIC PUMP》"폐 ... 에대해 크라이오 펌프 데이터 시트를 검사하라.《크라이오 펌프의 총괄》※ 크라이오 펌프의 장점ⅰ) 운전 경비가 싸고 실용적이다.ⅱ) 수소, 헬륨, 네온등은 저온에서의 물리흡착으로 배출

리포트 | 15페이지 | 2,000원 | 등록일 2001.09.13

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진공

고 구조도 간단하다.◈ 고진공 이상의 펌프섭션펌프, 오일확산 펌프, 스퍼터 이온 펌프, 게터 펌프, 터보 분자 펌프,크라이오 펌프등이 있다.☞ Mechanical Pump초기 ... 의 진공펌프는 증기기관을 역으로 하는 모양과 유사하였다. 실린더에서 힘을 받는 피스톤은 상자 안으로부터 공기를 흡수한다. 보다 최근에 개발된 것은 Rotary Oil-Seal Pump이 ... 어 있는 밸브를 통해서 밖으로 밀려난다. 회전축과 밸브는 오일로 봉해져 있다. 매 회전은 고정된 체적을 쓸고 지나가므로 상수 변위 펌프라고도 한다. Rotary Blower Pump

리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2000.12.03

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Wafer 결정성장 방법

(ion),크라이오(cryo),터보몰레큘(turbomolecular), 확산(diffusion), 흡착(sorption) 및 승화(sublimation) 펌프들의 적절한 조합

리포트 | 15페이지 | 1,000원 | 등록일 2003.10.03

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진공 - 재료공학 실험

, 게터 펌프, 터보 분자 펌프, 크라이오 펌프등이 있다.☞ Mechanical Pump초기의 진공펌프는 증기기관을 역으로 하는 모양과 유사하였다. 실린더에서 힘을 받는 피스톤 ... 은 고정된 체적을 쓸고 지나가므로 상수 변위 펌프라고도 한다. Rotary Blower Pump는 한 개 이사의 빠르게 회전하는 날개에 의해서 작동된다. 이것은 봉입 매개물 ... 의 펌프는 화학과 원유산업에 널리 이용된다.Diffusion pump는 초고진공에서 높은 펌핑속도를 가진다. ejector pump의 증기 분사법은 방의 냉각된 벽에 증기를 응축

리포트 | 8페이지 | 1,000원 | 등록일 2000.09.21

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