"박막재료"의 검색결과 입니다.

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"박막재료" 검색결과 21-40 / 3,698건

박막 재료의 표면 처리 및 PR 제거 (반도체 식각)

nm 이하의 선폭 리소그래피 기술? - 나노 스케일 초미세 박막 증착 기술? - 저온 탄소 나노튜브성장 기술? - Organic 기판에 상온 박막 증착 기술? (예: 유리 ... 에 poly-silicon 박막 증착을 이용해 태양전지 제조, TFT-LCD 제조 등)◎핵융합 및 환경기술 분야?? - 고온 플라즈마를 위한 중성입자 빔 heating 시스템 기술??? ... 므로 사진공정은 반응공학적인 측면에서 볼 때 불균일 회분식 반응계로 볼 수 있다.②과정(ⅰ)기판 이란 식각하고자 하는 재료를 말한다. 리소그래피에 임해서는 먼저 그 기판을 잘 세척

리포트 | 10페이지 | 1,500원 | 등록일 2010.10.13

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[공학]박막 재료의 물성 측정

때 온도의 조절이 매우 중요하며 재료에 따라서는 어닐링에 의해 잔류응력이 감소하여 계면접합특성이 향상되기도 한다.(1) Pull-off test핀을 접착제로 박막에 고정시킨 후 ... ), 반발경도(rebound hardness), 압입경도(indentation hardness)로 나눈다. 이 중 압입경도가 금속재료의 경도측정에 널리 사용되고 있다. 압입경도 ... urveNanoindentation은 최근의 경도 측정방법으로 박막과 같은 수 m order 이하의 미소영역에서의 물성평가를 위해 새로 개발된 시험법이다. indentor의 압입 과정을 전기적인 방법

리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.11.19 | 수정일 2016.03.21

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박막재료와 그 증착공정의 종류

을 형성시키는 데에 있다.2. 전자박막재료 증착 공정의 분류전자박막재료의 증착과정에는 크게 증기 증착 과정인 PVD 와 CVD, 열적 처리를 이용한 Thermal oxidation ... 어 고 순도의 박막 형성이 가능하고, 고 융점 금속을 포함한 모든 재료에 적용할 수 있다. 그러나 증발분자와 잔류 가스를 이온화시켜 막질에 영향을 미치는 경우가 있으며, 또한 장치 ... 1. 박막이란?박막이란 말 그대로 얇은 막을 의미하며, 일반적으로 수 마이크로미터 이하의 film을 일컫는다. 또한 박막 증착 공정은 반도체 제조 공정 중의 하나로써 크게 보

리포트 | 10페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.09.22

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박막재료의표면처리및식각실험(예비).

1. 실험제목SiO2 박막의 식각 및 PR 제거2. 실험목적여러 가지 전기 및 전자기기에 사용되는 반도체 소자의 제조공정은 박막재료의 세 가지 공정으로 나눠 지는데 첫째로 증착 ... 공정 둘째로 마스크의 패턴형성 그리고 셋째로 식각공정으로 나눠진다. 이러한 공정 가운데서 중요한 공정은 박막의 식각공정으로서 마스크 패턴을 가지고 증착된 박막을 식각하는 것이다. 본 ... 실험 에서는 마스크에 의하여 형성된 패턴을 증착된 박막위로 전달하는 식각공정에 대하여 이해하고 그에 따른 박막의 표면과 두께의 변화 등에 대하여 고찰하고자 한다.3. 실험내용가장

리포트 | 10페이지 | 2,000원 | 등록일 2009.09.23

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박막재료의표면처리및식각실험(결과).

Si substrateSiO2Si substrateSiO2PR1. Oxidation Layering2. PR coatingDeposit barrier layer SiO2 고온(800~1200℃)에서 산소나 수증기를 실리콘 웨이퍼 표면과 화학반응시켜 얇고 균일한 실리콘 ..

리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2009.09.23

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박막 재료의 표면처리 및 PR 제거

1. 실험제목 : 박막 재료의 표면처리 및 PR 제거2. 실험목적여러 가지 전기 및 전자기기에 사용되는 반도체 소자의 제조공정은 박막재료의 세 가지 공정으로 나눠지는데 첫째 ... 로 증착공정 둘째로 마스크의 패턴형성 그리고 셋째로 식각공정으로 나눠진다.이러한 공정 가운데서 중요한 공정은 박막의 식각공정으로서 마스크 패턴을 가지고 증착된 박막을 식각하는 것이 ... 다. 본 실험에서는 마스크에 의하여 형성된 패턴을 증착된 박막위로 전달하는 식각공 정에 대하여 이해하고 그에 따른 박막의 표면과 두께의 변화 등에 대하여 고찰하고자 한다.3. 실험내용

리포트 | 21페이지 | 3,000원 | 등록일 2008.05.27

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박막재료의 표면처리 및 식각실험

1. 실험 제목 : 박막재료의 표면처리 및 식각실험2. 실험 목적여러 가지 전기 및 전자기기에 사용되는 반도체 소자의 제조공정은 박막재료의 세가지 공정으로 나뉘어 지는데 첫째 ... 로 증착공정 둘째로 마스크의 패턴형성 그리고 셋째로 식각공정으로 나뉘어 진다. 이러한 공정 가운데서 중요한 공정은 박막의 식각공정으로서 마스크 패턴을 가지고 증착된 박막을 식각하는 것 ... 이다. 본 실험에서는 마스크에 의하여 형성된 패턴을 증착된 박막위로 전달하는 식각공정에 대하여 이해하고 그에 따른 박막의 표면과 두께의 변화등에 대하여 고찰하고자 한다.3. 실험

리포트 | 22페이지 | 2,500원 | 등록일 2008.05.27

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박막재료의 표면처리 및 PR제거

1. 실험 제목 : 박막재료의 표면처리 및 PR제거2. 실험 목적여러 가지 전기 및 전자기기에 사용되는 반도체 소자의 제조공정은 박막재료의 세 가지 공정으로 나눠지는데 첫째 ... 로 증착공정 둘째로 마스크의 패턴형성 그리고 셋째로 식각공정으로 나눠진다. 이러한 공정 가운데서 중요한 공정은 박막의 식각공정으로서 마스크 패턴을 가지고 증착된 박막을 식각하는 것이 ... 다. 본 실험에서는 마스크에 의하여 형성된 패턴을 증착된 박막위로 전달하는 식각공정에 대하여 이해하고 그에 따른 박막의 표면과 두께의 변화 등에 대하여 고찰하고자 한다.3. 실험 내용

리포트 | 27페이지 | 3,000원 | 등록일 2008.05.27

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[재료공학]박막의 증착 공정

박막증착공정모재 표면에 수 마이크로미터 정도의 두께를 갖는 이종물질을 증착함으로써 표면성질을 개선하거나 특수한 기능을 갖는 구조를 제조하려는 연구가 활발히 진행되고 있다. 박막 ... 의 광범위한 응용범위는 진공 및 관련기술의 발달에 힘입어 반도체소자, 광학재료, 자성재료, 센서, 초경재료, 내부식성 및 내산화성 재료에 이르기까지 매우 다양하다진공이란진공은 공간 ... 을 응용하기 위해서는 지상에 인위적인 진공을 발생시키고 제어해야 한다. 이런 진공기술의 요소는 발생기술, 재료기술, 가공 및 부품기술, 평가 및 제어기술로 대별되며 이 네 가지 요소

리포트 | 14페이지 | 1,500원 | 등록일 2006.04.09

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[재료공학] 박막 기초

진공: 공업적으로 ‘대기압 이하의 상태’○공업적으로 진공이 이용되는 이유a)화학적으로 비활성 (공기중의 활성 분자가 박막의 물질과 화합물 형성막음, 원하지 않는 화학 반응 예방 ... )b)열전도가 작다c)기체분자와의 충돌 적다.(진공이 아닐땐 증착입자의 직진을 방해하여 공간중에서 이슬과 같은 미립자로 변화하고 평편한 박막의 생성이 힘듦 )d)압력이 낮는 등 ... 는 평균거리이다.온도가 일정하면 압력이 낮을수록 기체 분자 밀도가 낮으므로 충돌확율이 낮아져 평균 자유행로는 길어진다.＊박막형성에서 증착 소스로부터 탈출한 입자가 잔류가스에 충돌하지

리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.05.13

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박막재료의 표면처리 및 PR 제거

1. 실험 제목 : 박막재료의 표면처리 및 PR 제거2. 실험목적여러 가지 전기 및 전자기기에 사용되는 반도체 소자의 제조공정은 박막재료의 세 가지 공정으로 나눠 지는데 첫째 ... 로 증착공정 둘째로 마스크의 패턴형성 그리고 셋째로 식각공정으로 나눠진다. 이러한 공정 가운데서 중요한 공정은 박막의 식각공정으로서 마스크 패턴을 가지고 증착된 박막을 식각하는 것이 ... 다. 본 실험에서는 마스크에 의하여 형성된 패턴을 증착된 박막위로 전달하는 식각공정에 대하여 이해하고 그에 따른박막의 표면과 두께의 변화 등에 대하여 고찰하고자 한다.3. 실험내용

리포트 | 18페이지 | 15,000원 | 등록일 2007.12.12

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박막재료의 표면 처리 및 PR제거

1. 실험제목박막재료의 표면 처리 및 PR제거2. 실험목적여러 가지 전기 및 전자기기에 사용되는 반도체 소자의 제조공정은 박막재료의 (1) 증착공정, (2) 마스크의 패턴형성 ... 그리고 (3) 식각 공정으로 구분된다. 이러한 공정들 가운데서 중요한 공정은 박막의 식각공정으로서 마스크 패턴을 가지고 증착된 박막을 식각하는 것이다. 본 실험에서는 마스크에 의하 ... 여 형성된 패턴을 증착된 박막위로 전달하는 식각공정에 대하여 이해하고 그에 따른 박막의 표면과 두께의 변화등에 대하여 고찰하고자 한다.3. 실험내용가장 널리 사용되는 실리콘 산화막

리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.10.20

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박막형 태양전지의 재료인 Cd-Te의 현재 기술과 문제점분석

박막형 태양전지의 재료인Cd-Te의 현재 기술과문제점 분석- 목차 -1. 태양전지의 구동원리 및 분석(1) 태양전지의 구동원리2. 현재의 태양전지 마켓 규모와 앞으로의 시장 ... 성 분석(1) 태양전지 마켓시장(2) 미래의 태양전지 시장성과 미래재료3. 실리콘 고분자를 재료로 한 태양전지(1) 결정질 실리콘 태양전지와 비결정질(박막) 실리콘 태양전지4. Cd ... 를 포함한 다양한 박막형 태양전지 연구를 수행중에있다.(2) 미래의 태양전지 시장성과 미래재료위의 그림은 1999년과 2000년대에 생산된 태양전지들의 재료에 관한 점유율을 도시

리포트 | 11페이지 | 1,000원 | 등록일 2012.02.12

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박막재료의 표면처리 및 식각실험(예비)

1. 실험제목SiO2 박막의 식각 및 PR 제거2. 실험목적여러 가지 전기 및 전자기기에 사용되는 반도체 소자의 제조공정은 박막재료의 세 가지 공정으로 나눠 지는데 첫째로 증착 ... 공정 둘째로 마스크의 패턴형성 그리고 셋째로 식각공정으로 나눠진다. 이러한 공정 가운데서 중요한 공정은 박막의 식각공정으로서 마스크 패턴을 가지고 증착된 박막을 식각하는 것이다. 본 ... 실험 에서는 마스크에 의하여 형성된 패턴을 증착된 박막위로 전달하는 식각공정에 대하여 이해하고 그에 따른 박막의 표면과 두께의 변화 등에 대하여 고찰하고자 한다.3. 실험내용가장

리포트 | 10페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.07.28

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[재료공학] 박막 제조법

3 박막 제조 방법1) 물리적 증착법물리적 진공증착법이란 고진공 조건에서 화학반응이 일어나지 않는 상태로 단일 금속의 증기상을 피처리물 표면에 코팅시키는 것을 의미하였으나, 최근 ... 에는 증기상과 송입한 가스와의 화학적 반응에 의해 생성되는 복합물을 코팅시키는 것도 포함시키고 있으며, PVD를 일반적으로 진공코팅이라 부른다. 고체 재료를 증기상으로 만드는 방법 ... 에는 진공에서 증발시키는 방법과 이온 스퍼터링에 의해 원자상태로 방출시키는 방법이 있다. 그런데 이온 도금은 이들 두 방법 중 어떤 방법으로 표적재료(증발재료)를 증기상으로 만들

리포트 | 13페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.03.27

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고려대학교 재료공학실험1 진공 증착기를 이용한 Ohmic Contact 형성용 Metal 박막 증착

재료는 금속, 합금을 비롯하여 화합물, 비금속 산화물 등이 있다. 이들 박막의 기능별로 특성에 따른 응용분야를 조사하면 그 범위가 매우 넓으며 위에서 언급한 응용에는 최근 모든 기술 ... AMSE305진공 증착기를 이용한 Ohmic Contact 형성용 Metal 박막 증착 (결과보고서)실험 목적진공증착 장비를 이용한 박막증착 실험을 통해서 진공 및 진공장비 ... 의 원리를 이해하고 박막의 제조와 분석을 통해서 진공과 박막의 기본개념을 이해한다.진공 증착 개요 및 원리박막을 제조하는 기술은 크게 물리적 방식을 이용하는 Physical Vapor

리포트 | 4페이지 | 1,500원 | 등록일 2013.07.16

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[재료공학]박막의 두께 측정방법

박막의 두께 측정 방법서문반도체 제조 공정 중 중요한 공정인 두께 측정에 대한 조사를 동하여 반도체 설계 시 표면의 거칠기와 두께 측정이 얼마나 반도체의 성능을 좌우 할 수 있 ... 는가에 대하여 조사하고 또한 종류는 어떤 것 들이 있는지에 관하여 조사한다.반도체 박막두께 인증표준물질최근 반도체 소자가 고집적화ㆍ소형화됨에 따라 반도체 소자 제조공정에서 사용 ... 되는 박막의 두께가 단일 원자층 수준으로 급격히 얇아지고 있다.반도체 소자는 실리콘 웨이퍼에 얇은 막을 입힌 후 그 표면에 식각이나 산화ㆍ증착ㆍ배선 등 다양한 공정을 거쳐 만들어지

리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.11.18

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박막재료의 표면처리 및 식각실험 결과보고서

1. 실험제목박막 재료의 표면 처리 및 PR 제거2. 실험목적여러 가지 전기 및 전자기기에 사용되는 반도체 소자의 제조공정은 박막재료의 세 가지 공정으로 나누어지는데 첫째로 증착 ... 공정 둘째로 마스크의 패턴형성 그리고 셋째로 식각공정으로 나눠진다. 이러한 공정 가운데서 중요한 공정은 박막의 식각공정으로서 마스크 패턴을 가지고 증착된 박막을 식각하는 것이 ... 다. 본 실험에서는 마스크에 의하여 형성된 패턴을 증착된 박막위로 전달하는 식각공정에 대하여 이해하고 그에 따른 박막의 표면과 두께의 변화 등에 대하여 고찰하고자 한다.3. 실험내용가장

리포트 | 5페이지 | 1,500원 | 등록일 2009.03.20

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박막재료의 표면처리 및 PR실험

1. 실험제목박막 재료의 표면처리 및 식각 실험2. 실험목적여러 가지 전기 및 전자기기에 사용되는 반도체 소자의 제조공정은 박막재료의 세가지 공정으로 나뉘어 지는데 첫째로 증착 ... 공정 둘째로 마스크의 패턴형성 그리고 셋째로 식각공정으로 나뉘어 진다. 이러한 공정 가운데서 중요한 공정은 박막의 식각공정으로서 마스크 패턴을 가지고 증착된 박막을 식각하는 것이 ... 다. 본 실험에서는 마스크에 의하여 형성된 패턴을 증착된 박막위로 전달하는 식각공정에 대하여 이해하고 그에 따른 박막의 표면과 두께의 변화등에 대하여 고찰하고자 한다.3.실험내용가장

리포트 | 13페이지 | 1,500원 | 등록일 2006.11.24

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박막 재료의 표면처리 및 식각 실험 예비보고서

공업화학실험1. 실험제목박막 재료의 표면처리 및 식각 실험2. 실험목적여러 가지 전기 및 전자기기에 사용되는 반도체 소자의 제조공정은 박막재료의 세가지 공정으로 나뉘어 지 ... 는데 첫째로 증착공정 둘째로 마스크의 패턴형성 그리고 셋째로 식각공정으로 나뉘어 진다. 이러한 공정 가운데서 중요한 공정은 박막의 식각공정으로서 마스크 패턴을 가지고 증착된 박막을 식각 ... 하는 것이다. 본 실험에서는 마스크에 의하여 형성된 패턴을 증착된 박막위로 전달하는 식각공정에 대하여 이해하고 그에 따른 박막의 표면과 두께의 변화등에 대하여 고찰하고자 한다.3

리포트 | 12페이지 | 1,500원 | 등록일 2009.03.20

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