"박막형"의 검색결과 입니다.

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"박막형" 검색결과 301-320 / 8,285건

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사각 증착 ITO 박막계의 무반사 및 전자파 차폐 특성 (Anti-Reflection and Electromagnetic Wave Shielding Properties of the Oblique Angle Deposited ITO Films)

사각 증착 방법을 사용하면 코팅 박막의 기둥 미세구조에 영향을 주게 되어 박막의 물리적, 광학적 특성이 변화된다. 기판 표면에 증발 입자들이 사각으로 입사하게 되면 그림자 효과 ... 때문에 빈 공간이 존재하는 다공성 박막으로 성장한다. 여기서는 전자 빔 증착 방법을 사용하여 ITO(Indium-Tin-Oxide) 박막을 유리 기판에 코팅하였다. 실험 결과 ... 는 기판 표면에 대한 증착 입자들의 입사각도가 증가할수록 박막의 투과도와 비저항이 증가하지만 광학상수는 입사각도가 증가할수록 감소하는 것으로 나타났다. 또한 실험값을 사용하여 사각 증착

논문 | 9페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.18 | 수정일 2025.03.28

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원격 플라즈마 화학기상 증착법으로 성장된미세 결정화된 SiGe 박막 형성 (The Formation of Microcrystalline SiGe Film Using a Remote Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)

SiGe 박막을 평가하기 위하여 우리는 Si 원료로 SiH4와 SiCl4를 사용하고 Ge 원료로 GeCl4를 사용하여 400 ˚C에서 원격 플라즈마 화학기상증착법을 이용 ... 하였다. 박막의 성장속도와 박막의 결정성은 각각 주사 전자 현미경과 라만 분광법을 이용하였다. SiGe 박막의 광학적, 전기적 평가는 SiCl4와 SiH4 원료에 따라 각각 비교적으로 연구 ... 되었다. SiCl4 원료에 의해서 증착된 SiGe 박막은 SiH4 원료를 이용하여 증착된 SiGe 박막에 비하여 낮은 성장속도와 높은 결정화도를 나타냈다. 자외선-가시광선 분광법

논문 | 4페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.26 | 수정일 2025.05.14

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고분자 플라스틱 기판과 유리 기판위에 증착한 알류미늄 박막 특성 분석 (Characteristic Analysis of Al Films Grown on Plastic Substrates and Glass Substrates)

플라스틱 기반 평판디스플레이 장치를 위한 Al 박막(1000-4000 )을 직류-마그네트론 스퍼터링으로 유리 기판과 고분자 플라스틱 기판위에 증착하였다. 고분자 플라스틱 기판위 ... 에 증착된 Al박막의 전기적 특성을 향상시키고, 열 팽창을 줄이기 위하여 단계적 열 처리법을 사용하였다. 이러한 공정을 사용함으로써, 고분자 기판위에 증착된 박막의 크랙과 기판의 휨 ... 현상이 없는 Al 박막을 성공적으로 증착하였다. 또한, Al 박막의 열처리와 증착공정은 모두 200℃ 이하에서 이루어 졌기 때문에, 이러한 저온 공정은 고분자 플라스틱 기판에 적용

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.07 | 수정일 2025.05.08

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Fluorine 첨가에 의한 F-doped SiOC : H 박막의 저 굴절률 특성 (Refractive index control of F-doped SiOC : H thin films by addition fluorine)

저굴절 재료인 F-doped SiOC : H 박막을 Si 웨이퍼와 유리기판위에 rf power, 기판온도, 그리고 가스유량(SiH4,CF4 and N2O)을 변수로 하 ... 여 PECVD법으로 증착하였다. 기판 온도와 rf power 증가에 따라 F-doped SiOC : H 박막의 굴절률은 감소하는 경향을 보였다. N2O 가스 유량이 감소함에 따라 증착된 박막 ... 의 굴절률은 감소하였으며, rf power가 180W,기판온도 100oC, 그리고 N2O 가스를 첨가하지 않은 조건에서 증착한 박막은 최소 굴절률인 1.3778을 갖는 것을 알 수

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.24 | 수정일 2025.05.14

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DIPAS(디이소프로필아미노 실란; Diisoprophylamino Silane) 소스를 이용한 Si 박막 형성 및 특성 (Fabrication and Properties of Si Films by using DIPAS(Diisoprophylamino Silane) Source)

원격 플라즈마 화학 기상 증착(RPECVD)법을 이용하여 실리콘 및 석영 기판상에 실리콘 박막을 형성시키고 그 특성을 평가하였다. 실리콘 박막을 형성시키기 위하여 소스 물질 ... 이 실용적인 관점에서 알콕시 실란 또는 염화 실란보다 더 바람직 할 수 있다. 500~700℃의 범위에서 증착된 실리콘 박막의 증착 속도는 약 0.8~13nm/min.이었다. EDX ... 분석을 통하여 증착된 실리콘 박막 내에는 실리콘이외의 다른 성분은 관찰되지 않음을 확인하였다. 500~700℃의 범위에서 증착 된 석영기판위의 실리콘 결정구조는 비정질 상태였으며

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.16 | 수정일 2025.05.10

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유기반도체를 이용한 양극성 유기박막 트랜지스터 (Review of Bipolar Field-effect Transistors Based]{Review of Bipolar Field-Effect Transistors Based on Organic Semiconductors)

유기 박막 트랜지스터 (OTFT)는 제작 공정이 간단하고 비용이 저렴하다는장점과 더불어 유기 반도체 자체가 가지는 가공성, 유연성 등으로 인해유연한 (flexible) 전자기기

논문 | 16페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.06 | 수정일 2025.05.17

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Ar+ RF 플라즈마 처리조건이 임베디드 PCB내 전극 Cu박막과 ALD Al2O3박막 사이의 계면파괴에너지에 미치는 영향 (Effect of Ar+ RF Plasma Treatment Conditions on Interfacial Adhesion Energy Between Cu and ALD Al2O3 Thin Films for Embedded PCB Applications)

임베디드 PCB 기판내 유전체 재료인 Atomic Layer Deposition(ALD) Al2O3박막과 전극재료인 스퍼터 증착된 Cu박막 사이의 계면접착력을 90o peel ... 향상층 Cr박막을 삽입하여 Cr/Al2O3의 계면파괴에너지는 10.8±5.5 g/㎜를 얻었다. Al2O3 표면에 0.123 W/㎠ 의 power density로 2분간 Ar ... + RF 플라즈마 전처리를 하고 Cr박막을 삽입한 Cr/Al2O3 계면파괴에너지는 39.8±3.2 g/㎜으로 매우 크게 증가하였는데, 이는 Ar+ RF 플라즈마 전처리에 따른

논문 | 8페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.26 | 수정일 2025.05.14

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V2O5 박막의 Cl₂/Ar 유도결합 플라즈마 식각 (Cl2/Ar inductively coupled plasma etching of V2O5 thin film)

Cl2/Ar 유도결합 플라즈마를 이용하여 V2O5 박막을 식각하였고, 플라즈마 조성, ICP source power, rf chuck power, 공정압력이 V2O5 박막의 식각 ... 속도에 미치는 영향을 조사하였다. Cl2 가스 함량이 증가함에 따라 V2O5 박막의 식각속도가 전반적으로 증가하였고, 66.7 Vol% 조건에서 ~82.7 nm/min의 식각속도 ... 하였다. Rf chuck power와 공정 압력을 증가시킴에 따라 V2O5 박막의 식각속도는 계속적으로 증가하였고, 20Cl2/10Ar, ICP source power 500 W

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.26 | 수정일 2025.05.14

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펜타센 박막의 두께와 전극위치가 펜타센 TFT 성능에 미치는 영향 (Effects of Pentacene Thickness and Source/Drain Contact Location on Performance of Penatacene TFT)

본 논문에서는 펜타센을 활성층으로 사용하는 유기박막트랜지스터(OTFT)의 펜타센의 두께, 그리고 소오스 및 드레인 전극의 위치에 따른 소자의 성능 변화에 대하여 연구하였다. 펜 ... 타센 박막의 두께가 증가하면 그레인 상태가 박막상태에서 벌크상태로 변화하면서 결정도가 악화되어 성능이 열화하였고, 소오스와 드레인 전극을 펜타센 위에 제작한 소자의 경우 접촉저항

논문 | 7페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.08 | 수정일 2025.05.08

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교환 결합력을 갖는 CoFe/MnIr 박막에서 강자성 공명 선폭의 각도 의존성 연구 (Angular Dependence of Ferromagnetic Resonance Linewidth in Exchange Coupled CoFe/MnIr Bilayers)

본 연구에서는 교환 결합력을 갖는 CoFe/MnIr 박막 재료의 각도에 따른 강자성 공명 선폭 변화 특성을 분석하였다. 선폭의 최대 및 최소값은 교환 결합력에 의한 일방 이방성 ... 의 반대 방향에서 자기장 방향으로 꼬여있는(twist) CoFe의 자화에 기인한다. 한편, CoFe 단일 박막에 비하여 증가된 최소 선폭은 각도 의존성이 없는 회전 이방성 자기장과 관련

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.13 | 수정일 2025.03.28

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슬랏을 갖는 도파관형 공진기를 이용한 박막 필름의 유전율 측정 (Permittivity Measurement of Thin Film Using a Waveguide-type Resonator with a Slot)

본 논문에서는 박막 필름의 유전율 측정이 가능한 슬랏을 갖는 도파관형 공진기를 제안하였으며, 시료에 의한 공진 주파수 천이 현상으로부터 유전율을 측정한다. 이를 위하여 공진기 한 ... 은 수치 해석을 통하여 계산하였으며, 이를 기반으로 2～3 GHz 대역에서 65 μm 두께의 박막 필름 유전율을 측정하였다. 측정 결과, 유전율은 평균 3.3492±0.0605(표준

논문 | 4페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.13 | 수정일 2025.03.28

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태양열 흡수판용 복층 TiNOx 박막의 제조와 특성 분석 (Characteristic Analysis and Preparation of Multi-layer TiNOx Thin Films for Solar-thermal Absorber)

TiNOx 박막은 Al 타깃을 이용하여 Al 기판 위에 Ar과 N2 가스의 비율을 조정하면서 dc 반응성 마그네트론 스퍼터링법으로 증착되었다. Al 타깃은 3 inch의 지름 ... 하였다. TiNOx 박막의 물성 및 표면 특성은 XRD, FESEM 및 SIMS (secondary ion mass spectroscopy)로 분석하였고, 광학적 특성은 UV-Vis

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.13 | 수정일 2025.05.18

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개구면 크기에 따른 도전성 박막 소재의 자기장 차폐효과 분석 (Analysis of the Magnetic Shielding Effectiveness of Conductive Sheets according to Aperture Sizes)

본 논문에서는 도전성 박막 차폐소재의 저주파수(10 kHz-10 MHz) 자기장 차폐효과(shielding effectiveness: SE) 측정시 차폐소재가 결속되는 개구면 크

논문 | 8페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.29 | 수정일 2025.05.15

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마이크로 유동에서 PtOEP/PS 박막을 이용한 용존 산소 농도장의 정량적 가시화 (Quantitative Visualization of Dissolved Oxygen Concentration Field in Micro Flows using PtOEP/PS Membrane)

It is highly needed to measure the dissolved oxygen (DO) concentration field in water for a variety of purposes such as biological, industrial, enviro..

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.29 | 수정일 2025.05.07

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곡면 지붕면을 활용한 박막 태양광발전 실증연구 (The Field Demonstration Study of Curved Roof-top PV System Utilizing the Light PV Module)

The solar power generation market has experienced rapid growth in recent years, with the industry increasingly shifting towards building-integrated so..

논문 | 12페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.29 | 수정일 2025.05.15

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광소자용 n-ZnO 박막의 Ru 오믹 접촉 연구 (Investigation of Ru ohmic contacts to n-ZnO thin film for optoelectronis devices)

스퍼터로 성장시킨 n-ZnO:Al(3×1018 cm-3) 박막에 Ru 금속 박막을 이용하여 열적으로 안정하며 낮은 저항을 가지는 오믹 접촉을 제작하였다. 상온에서 2.1×10-3

논문 | 8페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.05 | 수정일 2025.05.16

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LaMnO3/SrTiO3 박막에서 레이저 펄스로 여기된 결맞은 진동 (Laser-pulse-induced Coherent Oscillations in LaMnO3/SrTiO3 Thin Films)

극초단 레이저 펄스 여기-탐지 기법을 이용해서 LaMnO3 박막의 레이저 펄스로 여기된 결맞은 진동을 관찰했다. 실험에 사용된 여기 펄스와 탐지 펄스의 지속시간은 약 10 펨토초

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.17 | 수정일 2025.03.28

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IrMn 층과 인접한 Co/Ni 다층박막에서 자구벽 Creep 운동의 관찰 (Observation of Domain Wall Creep Motions in Co/Ni Multilayers Interfacing with IrMn Layer)

본 연구에서는 반강자성 I rM n 층과 인접한 강자성 Co/Ni 다층박막에서 실시간 자구 관찰이 가능한 광자기 현미경 시스템을이용하여 자구벽 Creep 운동을 관찰하였다. 실

논문 | 4페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.10 | 수정일 2025.05.18

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플루오라이트 구조 강유전체 박막의 분극 반전 동역학 리뷰 (A Brief Review on Polarization Switching Kinetics in Fluorite-structured Ferroelectrics)

Since the original report on ferroelectricity in Si-doped HfO2 in 2011, fluorite-structured ferroelectrics have attracted increasing interest due to t..

논문 | 13페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.13 | 수정일 2025.03.28

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단일 합금타겟을 이용한 마크네트론 스퍼터링 공정으로 증착된 MoN-Cu 박막 (MoN-Cu Thin Films Deposited by Magnetron Sputtering with Single Alloying Target)

MoN-Cu thin films were prepared to achieve appropriate properties of high hardness and low friction coefficient, which could be applied to automobile ..

논문 | 8페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.17 | 수정일 2025.03.28

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