"박막형"의 검색결과 입니다.

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"박막형" 검색결과 261-280 / 8,285건

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Selenization 압력조건에 따른 CuInSe2 박막 물성 변화 (Change in the Properties of CuInSe2 Thin Film according to Selenization pressure conditions)

We studied the physical properties of CuInSe2(CIS) thin films fabricated using a cracked selenium (Se) source in the selenization processes. The cryst..

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.04 | 수정일 2025.05.16

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플라즈마 강화 원자층 증착법에 의한 TaNx 박막의 전기 전도도 조절 (Electrical Conductivity Modulation in TaNx Films Grown by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition)

TaNx film is grown by plasma enhanced atomic layer deposition (PEALD) using t-butylimido tris(dimethylamido) tantalum as a metalorganic source with va..

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.26 | 수정일 2025.05.14

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투명 전극 ITO 박막의 열처리 영향과 플라즈마 응용 표시소자 제작에 관한 연구 (Optically Transparent ITO Film and the Fabrication of Plasma Signboard)

Indium tin oxide(ITO) thin films were deposited on the glass substrates by radio-frequency (RF)magnetron sputtering method. The influence of rapid the..

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.26 | 수정일 2025.05.14

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[NiFe/NiFeCuMo/NiFe]/FeMn 다층박막의 교환결합력과 보자력에 관한 특성 연구 (Exchange Bias Field and Coercivity of [NiFe/NiFeCuMo/NiFe]/FeMn Multilayers)

초연자성을 갖는 코네틱(NiFeCuMo) 박막을 NiFe 박막 사이에 삽입한 삼층박막 위에 반강자성체 FeMn을 증착한 다층박막에서 NiFe와 NiFeCuMo 박막의 두께에 따른 ... 교환결합력과 보자력에 관한 특성을 조사하였다. 특히 NiFeCuMo 박막의 두께가 1 nm일 때 NiFe 박막 사이에 삽입한 삼층박막 위에 반강자성체 FeMn을 증착한 다층박막 ... 의 교환결합력은 최댓값을 나타내었다. 고정층과 자유층에 각각 NiFeCuMo 박막을 삽입하여 초연자성의 바이오센서용 거대자기저항-스핀밸브(giant magnetoresistive-s

논문 | 4페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.19 | 수정일 2025.05.10

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SiO2 층위에 알루미늄이 도핑된 산화 카듀뮴의 박막 성장에 관한 연구 (Growth of Al-doped CdO Thin Films on SiO2 Layers)

R-F 스퍼터를 통하여 증착 시간을 변화시켜 산화 규소층 위에 알루미늄이 도핑된 산화 카드뮴 박막을 증착 하였다. XRD 에서는 FCC구조인 (111), (200), (220 ... ), (311) 그리고 (222)면이 관찰되었다. 박막은 증착 시간이 변화됨에 따라서 박막의 우선 성장면이 달라졌다. (111)면은 증착 시간이 증가됨에 따라서 강도는 감소되었다. 이 ... 는 증착 시간이 박막의 결정성에 영향을 미치고 있는 것으로 보인다. FCC구조에서 (200)면이 박막의 원자 에너지 밀도가 높아서 표면 에너지가 가장 낮아서 (200)면이 모든

논문 | 4페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.14 | 수정일 2025.05.09

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공압 액추에이터 응용을 위한 PDMS 기반 유연 박막 변형 특성 (Deflection Properties of PDMS-based Flexible Thin Films for Pneumatic Actuator Applications)

본 연구에서는 공압에 의해 변형되는 유연 박막의 기계적 특성을 분석하였다. 박막 두께, 적용 압력, 가압 시간에 따른 변형 및 속도의 특성의 변화에 대해 분석하였다. 박막 두께 ... 했으며, 회복 속도는 박막 두께 감소에 따라 증가하는 경향을 확인하였다. 본 연구 결과를 통해서 박막을 이용하는 공압 기반 액추에이터(e.g., 마이크로 펌프, 디스펜서 등)의 설계 최적

논문 | 8페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.21 | 수정일 2025.03.28

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고온초전도체 박막과 거대 자기 저항-스핀밸브 다층 박막 사이 중간층을 통과하는 면 전류 효과에 따른 자기 저항 특성 연구 (Magnetoresistance due to the Plane Current Effect through the Gap Layer Between the High-Tc Superconductor Film and the Giant Magnetoresistance-Spin Valve Multilayer)

고온초전도체 Y$_1$Ba$_2$Cu$_3$O$_{7-x}$(YBCO) 박막 위에 이온빔 증착법을 이용하여 거대 자기 저항-스핀밸브 (giant magnetoresistance ... -spin valve, GMR-SV) NiFe/CoFe/Cu/CoFe/IrMn/Ta 다층 박막을 제작하였다. YBCO 박막 두께 300 nm와 반강자성체 IrMn 기반 GMR-SV ... 박막 두께 42.5 nm를 포함한 하이브리드 형태 다층구조 박막 시료에 대해 임계 온도 이하인 액체질소 온도에서 얻은 반전된 자기 저항 특성을 조사하였다. 자기 저항비가 -9.3

논문 | 7페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.30 | 수정일 2025.05.15

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단원자층 증착법에 의한 Hf Silicate 유전체 박막의 에너지 띠 정렬 (Band Alignment of Hf Silicate Dielectric Thin Films by Atomic Layer Deposition)

게이트 산화물 박막으로 관심을 모으고 있는 Hf silicate 박막의 밴드 갭및 실리콘 기판과의 원자가 띠의 오프셋 값을 측정하였으며, 이 값들을통해 게이트 산화물과 실리콘 ... $)$_{0.75}$박막의 밴드 갭은 6.4 eV가 측정되었다. 후속 열처리 한 후에도 밴드갭은 6.3 eV였다. $\Delta E_c$는 1.9 eV였다.(HfO$_2$)$_{0 ... .75}$(SiO$_2$)$_{0.25}$ 박막의 경우 밴드 갭은 5.5 eV,$\Delta E_c$는 1.3 eV로 계산되었다. Hf silicate 박막은 열적으로안정되어 있

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.09 | 수정일 2025.05.08

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산소 결핍된 TiO2 - d 박막의 상온 강자성 연구 (Room-temperature Ferromagnetism in Oxygen-deficient TiO2 - d Thin Films)

산소결핍(oxygen vacancy) 들이 존재하는 아나타시(anatase) 및 루타일(rutile) 구조의 TiO2 - d 박막들에서 강자성 현상이 상온에서 관측되었다. 시료 ... 들에 대한 XPS 측정 결과 Ti3+ 이온의 존재가 관측되었으며 산소결핍에 의한 전하 불균형을 상쇄시키기 위하여 생성되는 것으로 해석된다. TiO2 - d 박막에서 나타나는 상온 강

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.13 | 수정일 2025.03.28

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결맞는 x-선 산란을 이용한 박막의 표면 거동 연구 (Coherent x-ray scattering to study dynamics in thin films)

pectroscopy)을 소개하고 이를 이용하여 측정한 고분자 박막에서의 거동 현상에 대한 결과를 보고하고자 한다. 이 방법은 파장이 짧은 x-선 영역에 동역학 광산란(dynamic light s ... 에서는 글래스 전이보다 높은 온도에서, 기판에 코팅된 고분자 박막의 표면 거동현상을 온도와 파수의 함수로 측정하였다. 박막의 두께가 두꺼울 때에는 점성이 높은 액체에서와 계산된 이론 ... 에서와 같은 표면 거동 현상이 관찰되었고, 얇은 박막에서는 갇힘 현상에 의한 효과를 관찰하였다. A new method of x-ray photon correlation s

논문 | 4페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.17 | 수정일 2025.03.28

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산화막위에 증착된 금속박막과 산화막과의 계면결합에 영향 미치는 열처리 효과 (Annealing effect on adhesion between oxide film and metal film)

산화막위에 증착된 금속박막과 산화막과의 계면효과를 조사하였다. 산화막으로는 현재 반도체소자제조공정에 많이 사용되고 있는 BPSG 산화막과 PETEOS 산화막을 사용하였다. 이 두 ... 종류의 산화막위에 적층구조의 금속박막을 형성한 후, 금속박막의 열처리에 의한 계면의 영향을 SEM (scanning electron microscopy), TEM ... (transmission electron microscopy), AES (auger electron spectroscopy)를 사용하여 조사하였다. BPSG 산화막위에 증착된 금속박막을 650

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.26 | 수정일 2025.05.14

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반도체 절연박막의 두께변화와 결정성에 대한 누설전류의 의존성 (Effects of the Bonding Structure and Thickness on the Leakage Current of Semiconductors as Insulators)

디스플레이를 위한 반도체 절연막으로 적합한 SiOC 박막의 특성을 살펴보기 위해서 스퍼터를 이용한 SiOC 박막을 증착하고 전기적인 특성을 조사하였다. SiOC 박막의 절연 ... 성은 열처리 온도에 따라서도 달라졌으며, 100도에서 열처리한 박막의 두께는 증가하고 굴절률은 감소하였으며, XRD의 비정질 특성이 높아지고, 커패시턴스의 감소와 누설전류가 감소 ... 하는 특성이 관찰되었다. SiOC 박막의 누설전류 감소의 특성은 절연막으로서의 특성이 개선되고 있다는 것을 의미하며, 두께의 증가현상 또한 누설전류가 감소할 수 있는 조건을 잘 만들고 있

논문 | 4페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.07 | 수정일 2025.05.17

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실리콘 반도체 기판에 제작된 박막 패턴 발열 히터의 열특성 측정 (Measurement of Thermal Characteristics of Thin Film Patterned Heating Heater on Silicon Semiconductor Substrate)

본 연구에서는 박막 패턴의 히터를 반도체 공정 기술을 이용하여 소형 백금 박막 히터를 실리콘 기판 상에 제작하고 박막히터의 인가전압, 전력, 온도의 열특성을 측정 분석 ... 하였다. 박막 패턴 히터의 온도는 전력 증가에 따라서 증가하였으나 높은 전력구간에서는 온도 증가율이 완만해지는 결과를 확인하였다. 백금 박막 패턴 히터의 고온구간의 특성은 측정 환경에 의한 ... 저항 값 0.69 [K/mW]보다 높게 측정되었다. 대기분위기보다는 진공분위기에서 낮은 전력으로 박막 패턴 히터의 온도를 유지할 수 있었고 이들 결과는 박막 패턴 히터 소자의 구조

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.07 | 수정일 2025.05.17

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RF 마그네트론 스퍼터 방법에 의한 다결정 NiO 박막의 비저항 변화 (Colossal Resistivity Change of Polycrystalline NiO Thin Film Deposited by RF Magnetron Sputtering)

NiO 산화물 타겟을 이용한 RF 마그네트론 스퍼터 방법으로 유리 기판 위에 NiO 박막을 Ar 가스만을 사용하여 증착하였으며, 증착 온도에 따라 NiO 박막 특성에 미치는 영향 ... 을 조사하였다. XRD 측정으로부터 증착된 박막의 결정구조는 200oC 이하에서 (111) 면의 우선 배향성으로 보이다가 350oC 이상에서 (220) 면의 우선 배향성을 가지 ... 는 다결정 입방구조임을 확인하였다. NiO 박막의 전기적 특성의 변화는 기판의 온도가 200˚C까지는 105 Ωcm의 부도체에 가까운 높은 비저항을 보였고 기판의 온도가 300˚C

논문 | 8페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.09 | 수정일 2025.05.08

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RF 마그네트론 스퍼트링법에 의해 제조된 ATO 박막의 전기적 및 광학적 특성 (The Electrical and Optical Characteristics of ATO Films Preparedby RF Magnetron Sputtering Method)

본 연구에서는 투명 전도막으로 사용할 안티몬주석산화물 박막의 특성변수인 RF 전력, T-S간 거리 등의 변 화에 따른 박막의 광학적, 전기적, 구조적 특성을 알아보았다. 방법 ... : 안티몬주석산화물 박막을 마그네트론 스퍼트링 방법으로 실온에서 SnO2:Sb2O5=95:5 wt%의 비율로 제작하였다. 결과: 안티몬주석산화물 박막은 RF 입력전력에 가장 민감 ... 한 특성변화를 보였는데, 30W의 RF 입력전력에서 광투과율이 78%, 표면거칠기가 0.56 nm, 면저항이 1007 Ω톍m-2이었다. 결론: 안티몬주석산화물 박막은 T-S간 거리

논문 | 7페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.26 | 수정일 2025.05.14

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광학 프로젝션 시스템을 이용한 은 나노입자 박막의 레이저 패터닝 (Laser Patterning of Nanoparticulate Silver Thin Film by Using an Optical Projection System)

은 나노입자 박막을 유리 판 위에 스핀코팅을 이용하여 제작하고 532nm의 Nd:YAG 레이저와 프로젝션 광학시스템을 이용하여 규칙적인 가는선들에 대하여 30배가 축소된 미세 패 ... 터닝을 얻을 수 있었다. 레이저의단일 펄스 에너지와 프로젝션 렌즈와 박막의 거리 등을 변수로 하여최적 패터닝 조건을 연구하였다. 또한 곡선에 대한 패터닝을 위해알루미늄 박막을 제조

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.08 | 수정일 2025.05.08

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직류 마그네트론 스퍼터법에 의한 AlNO 복층박막의 제조와 특성 (Properties and Preparation of AlNO Multi-layer Thin Films Using DC Magnetron Sputter Method)

Al 기판 위에 AlNO 복층박막이 직류 반응성 마그네트론 스퍼터법에 의해 증착되었다. 4층 구조의 Al2O3/AlNO(LMVF)/AlNO(HMVF)/Al/기판이 Ar와 (N2 ... 에서 AlNO박막의 표면거칠기와 표면 특성은 field emission scanning electron microscopy (FE-SEM)에 의해 평가되었다. AlNO박막의 입자 크기 ... (grain size)는 스퍼터 power가 증가할수록 커진다. 그리고 박막의 조성은 electron probe microanalysis (EPMA)를 이용하여 체계적으로 조사

논문 | 5페이지 | 무료 | 등록일 2025.05.13 | 수정일 2025.05.18

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자기 중성방전 스퍼터링에 의한 산화몰리브덴 박막의제작 및 그 응용 (Molybdeum Oxide Film Preparation by a Magnetic Null Discharge Sputtering and its Application)

본 실험에서 자계중성방전 스파트링 시스템으로 균일한 산화 몰리브덴 박막을 얻을 수 있었다. 한편, 열처리 조건에 따라 박막의 제반특성은 XRD, XPS 및 SEM 등으로 고찰 ... 되었다. 기판의 열처리 온도에 따라 결정성장배향이 (100)에서 (210)으로 변함으로써, 박막의 결정성이 향상되었으며, 박막의 구조는 치밀해졌다. 광전자 Mo3d의 XPS 피크치

논문 | 7페이지 | 무료 | 등록일 2025.03.02 | 수정일 2025.03.06

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폴리이터설폰 지지체를 활용한 박막복합막의 용매투과특성 연구 (Solvent Filtration Performance of Thin Film Composite Membranes based on Polyethersulfone Support)

최근 유기용매나노분리막(OSN) 기술의 응용분야가 확대되고 있으며 그에 따른 분리막 성능향상이 요구되고 있다. 본 연구에서는 박막복합막 형태의 OSN 분리막을 제조하여 용매 ... Pluronic F-127)의 종류 및 조성의 영향을 확인하였다. 지지체 표면에 MPD와 TMC 단량체를 계면중합하여 폴리아미드 박막을 형성하였다. 제막된 박막복합막 OSN 분리막 ... 성능이 더 향상되었다. 기존TMC-MPD 반응을 활용하여 박막복합막을 제조하였을 때 Acetonitrile 용매의 투과성능이 EtOH보다 월등히 높은 것을 확인할 수 있

논문 | 7페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.27 | 수정일 2025.05.14

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메칠멜캅탄 가스센서용 TiO2/전해질폴리머 박막 제조 (Fabrication of TiO2/polyelectrolyte thin film for a methyl mercaptan gas sensor)

2/PSS 박막은 높은 비표면적을 나타내었고, 가스센서의 감도를증가시켰다. 1.0 ppm의 농도를 갖는 메칠멜캅탄에 노출된 TEA 혹은 TiO2/PSS 막이 증착된 QCM의 주파수 ... 변이는 각각 약9 Hz, 2 Hz 였다. (TiO2/PSS) 박막의 증착수가 늘어남에 따라 제조된 박막의 비표면적이 증가하게 되어 QCM 센서의 주파수 변이도 점차적으로 증가 ... 하였다. 추가적으로 메칠멜캅탄 가스의 농도가 0.5 ppm에서 2.0 ppm으로 높아짐에 따라 QCM 센서의 주파수 변화도 증가되었다. 본 연구에서는, (TiO2/PSS) 박막이 증착

논문 | 6페이지 | 무료 | 등록일 2025.04.29 | 수정일 2025.05.15

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