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반도체 공정 금오공대 반도체 중앙공급실업무 플라즈마 ITO Scribing 포스텍 대학원 PEALD pled 진공 증착
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"저온산소플라즈마" 검색결과 221-240 / 324건

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    [재료공학]박막의 증착 공정
    게 구별할 수 있다. 이 중에서 공업적으로 이용이 활발한 플라즈마는 저온 글로우 방전 플라즈마로서 반도체 공정에서 플라즈마 식각(plasma etching) 및 증착 (PECVD ... 만도 정도의 온도와 109 ~ 1010 /㎤의 밀도를 갖는 저온 글로우 방전 플라즈마와 수천만도 이상의 온도와 1013 ~ 1014 /㎤ 의 밀도를 갖는 초고온 핵융합 플라즈마로 크 ... 효과, 입자의 장거리 비행가능, 증발과 승화작용, 안정된 플라즈마를 유지, 생화학 반응 억제, 우주환경 제공 등의 특성이 있다.진공기술의 응용범위는 전 산업에 걸쳐 있으며 반도체
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    | 리포트 | 14페이지 | 1,500원 | 등록일 2006.04.09
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    [환경과학] 환경관련기술
    에 유도 전류와 함께 고온의 열이 발생되고 이때 발생한 열로 유리를 녹이고 가연성 폐기물을 연소 분해시키는 용융로를 말한다.플라즈마토치 용융로(PTM)은 유도가열식 저온로으로 처리 ... 하기 어려운 비가연성 폐기물을 고온의 플라즈마로 용융하는 장치이다.유리화 실증설비 구조도(①폐기물 공급 장치, ②유도가열식 저온로, ③플라즈마 토치 용융로, ④고온필터 ... 다는 장점이 있다.유도가열식 저온로(CCM)란 유도 코일로 둘러싸인 수냉식 저온 용융로 내에 유리를 넣고 고주파 발생기(HFG)를 통하여 유도 코일에 고주파의 전류를 흘려주게 되면 유리
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    | 리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.06.06
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    [공학기술]재료의 산화실험.
    다. 이러한 단점을 극복하기 위해 자외선이나 플라즈마, 촉매 등을 이용하여 O2 분자를 원자형태로 만들거나 에너지적으로 들뜨게 하여 저온에서도 빠른 속도로 산화막이 성장시킬 수 있는 방법 ... 위해서는 SiO2 내에서 산소분자 혹은 원자가 어떠한 원자구조를 갖고 확산경로에 대한 정확한 계산이 우선적으로 수행되어야 한다. 양자역학을 이용한 제일원리계산은 막대한 수의 방정 ... 구조 계산코드를 사용하여 SiO2 내의 산소결함에 대한 연구를 수행하였다. 산소결함은 분자형태와 틈새결함(interstitial)형태를 고려하였으며, 특히 결함의 전하상태에 따라
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    | 리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.05.07
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    ito(투명전도막)_원리 및 동향
    밀도의 증가로 설명이 가능하다. 여러실험을 통해 저온에서 제조한 비정질막에서는 산소결손이 지배적이고 고온에서 제조한 다결정막의 경우는 인듐 자리를 치환해서 이온화한 Sn이 지배 ... Group)를 형성시키는데 효과적인 방법으로 이온빔 및 플라즈마 내에 포함된 여러 종류의 에너지와 전자, 원자, 라디칼, 이온, 여기된 분자나 원자 등의 입자를 재료 표면에 작용 ... 개질 시키거나 열저항이나 전자빔에 의해 기판상에서 자라나고 있는 박막에 이온빔 충격을 주어 증착시키는 방법이다. 일정한 에너지와 전류 밀도를 가해주면 투입된 아르곤 및 산소 가스
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    | 리포트 | 42페이지 | 1,500원 | 등록일 2008.12.02
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  • 자료 표지
    진공의 기초
    Vacuum 10 -7 Torr 이하 원자핵 연구장치 , 전자 현미경 Plasma 발생기 , 물리 실험 장치 터보 분자 펌프 , 저온 냉각펌프 , 흡착 펌프진공을 위한 부품들 12 진공 ... , 이중유리창 ) 입자의 장거리 비행가능 (TV 모니터 , 입자가속기 ) 증발과 승화작용 안정된 플라즈마를 유지 (TV 모니터 ) 산화와 부패 등의 생화학 반응 억제 ( 램프 ... 흐르는 양진공 장비 SYSTEM 의 예 7반도체 공정에서 진공기술이 필요한 이유 8 공기내의 수분 , 산소 , 먼지 등 완벽제거 -1class = 입방피트 ( ft³) 의 공간내
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    | 리포트 | 19페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.05.29
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    [공학]플라즈마
    ■ 플라즈마 과학의 개요플라스마 과학은 1808년 H. Davy의 직류 아아크방전 개발과 1830년대 M. Faraday 등의 고전압 아크방전 튜브 개발에서 시작되었다고 볼 수 ... 규명했다. 이 때의 플라스마는 저온에 있는 고체물질에 열을 가하면 녹아 액체로 변하고, 증발하여 가스로 변화되며, 열을 더 증가하면 각 원자들은 전자들과 양이온들로 깨져 물질의 제 ... 의 관심은 가스 방전 레이저와 램프 개발에 있었다. 1960년대 말부터 PECVD에 의한 SiN 박막형성과 산소 플라스마를 이용한 Photoresist (PR) 에싱 가능성 그리고
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    | 리포트 | 12페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.03.18
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    녹차의 성분 및 기능성
    of tea catechin on plasma glucose (M,sasaki et al . Shokuhin kogyo 38 (8). 77 (1985))11 카데킨의 생리작용 ... ), 아스파르트산 (Aspartic acid), 글루탐산 ( Glutamic acid), 아스파라긴 ( Aspargine ) 등 28 종 확인 ❖ 60℃ 정도 저온 용출 성분 – 유리 ... 활성산소의 작용 억제 효소 SOD(superoxidedismutase) 의 구성성분 (CuZnSOD, MnSOD) 성분 – 무기질 - 127 ❖ 셀레늄 항산화성 , 유해 과산화
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    | 리포트 | 33페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.05.11
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  • 자료 표지
    수소에너지의 필요성,정의, 기술, 개발동향들을 조사
    (4) 생물학적 기술을 이용한 물분해 수소제조(5) 저온 열화학 사시클에 의한 수소제조(6) 기술수준나. 저장 기술(1) 고압기체 수소저장(2) 액체 수소저장(3) 수소저장합금 ... , 광촉매를 이용한 물분해 수소제조, 생물학적 물분해 수소제조, 저온 열화학 싸이클에 의한 수소제조 등으로 나누기로 한다. 수소제조 기술의 분류특히, 현재 이용되고 있는 천연가스 ... 열분해, 수증기 개질, 촉매이용에 의한 수소제조 등의 기존 기술보다는 향후 청정에너지 생산기술로서 기대되는 광촉매에 의한 물분해 수소제조 기술, 생물학적 수소제조기술, 저온 열화학
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    | 리포트 | 33페이지 | 2,000원 | 등록일 2007.10.06
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    저온 플라즈마에 의한 배가스 처리기술
    저온 플라즈마에 의한 배가스 처리기술가. 개요많은 저온 플라즈마 장치가 환경분야에의 응용을 위해 개발되어 왔다. 이들 장치들의 기본 원리는 전기에너지의 상당 부분을 강력한 전자 ... 로 진행되고 있다.나. 저온 플라즈마란?배출가스 중에서 고압의 전기방전을 행하면 방전에 의해 발생된 전자가 배출가스의 분자와 충돌하여 가스분자의 외곽 전자상태가 변한다. 이에 따라 반응 ... 또는 음으로 하전되어 전기적으로 중성상태의 가스가 되는데 이를 저온 플라즈마라 한다. 플라즈마는 전자, 이온, 분자의 온도가 모두 높은 고온 열플라즈마와 전자 온도만 높은 저온
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    | 리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.09.29
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    재료의 산화실험
    (LPCVD)이나 PECVD(plasma enhanced CVD)에 의해 형성될수 있다. 주요한 차이는 열산화는 기판으로부터 Si를 소모하지 않고 훨씬 더 저온에 구하는 반면 SiO2 ... 한 실리카(석영)관에 한 단위의 웨이퍼들을 배치시키는 과정을 포함한다. 건식 O2나 H2O와 같이 산소를 포함하는 가스는 대기압에서 관 속으로 흘려지고, 다른쪽 끝으로 흘러나가게 된다 ... 에서도 Native oxide라고 불리우는 25 A 두께의 산화층 생성 ~~더 깊이 산소 가 확산해 들어가지 못함. 따라서 고온 필요.* 산화반응 계략도Cg : gas phase 산소농도
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    | 리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.12.26
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  • 자료 표지
    [공학]기초 반도체 공정
    석영이 음극표적재료로 사용 plasma deposition 250 ℃ T 600 ℃ : SiH4 ~400 ℃ SiO2 for passivation doped SiO2 by B2H6 ... oxidation dry and wet, or Cl incorporated oxidationThermal Oxidation of Silicon열산화공정고온(800~1200도)에서 산소 ... and applications◇ Ion Implant의 특징 불순물 주입량 조절 분포모양 조절 측면 퍼짐 감소 저온공정 균일성 간편한 불순물 공급원 . . . ◎ 불순물 주입량 조절
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    | 리포트 | 161페이지 | 1,500원 | 등록일 2006.12.30
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    [보고서] 세균, 고세균, 진균 분류 보고서
    의 몸속 등 어느 곳에나 양분이 있으면 기생한다. 세균이 자라기 위해서는 양분과 함께 알맞은 온도와 습도 및 산소가 필요하다. 20℃ 이하에서 잘 자라는 것을 저온성세균, 55∼60 ... ℃에서 잘 자라는 것을 고온성세균이라고 하며, 그 중간 온도에서 자라는 것을 중온성세균이라고 한다. 그리고 산소를 필요로 하는 세균을 호기성세균, 산소 없이도 살 수 있는 세균 ... 구균, 호열성플라즈마, 황세균 등이 있다.- 유연관계고세균은 가장 원시적인, 지구상 최초의 생명체이고 진정세균은 이 고세균이 환경에 맞게 진화해오면서 생긴 생명체 종류중의 하나이
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    | 리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.03.31
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    [공업화학실험]박막 재료의 표면 처리 및 PR 제거
    - 플라즈마 ashing 장치를 이용하여 산소 플라즈마를 발생시켜서 적절한 조건에서 마스크 패턴을 제거한다.(6) 마스크 패턴을 제거한 산화막의 표면 색깔과 패턴 모양 관찰 ... - 광학 현미경 사용■ 실험이론● 플라즈마(Plasma)의 정의와 이용 분야○ 정의: 이온화된 기체, 이온화된 기체로서 하전입자의 운동에너지가 그 들간의 위치에너지보다 훨씬 큰 상태 ... 와 power를 선택하여식각 실험을 진행한다.(4) 식각된 산화막의 표면의 색깔과 패턴 모양 관찰 - 광학 현미경 사용(5) 마스크 패턴의 제거 (O2 plasma ashing)
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    | 리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.06.25
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    [공학]아세틸렌제조공정카바이드법
    하는 효율이 높은 실험장치로 깨끗하게 효과적으로 석탄으로 직접 아세틸렌을 생산한다. 이 장치는 플라즈마 점화횃불(plasma torch)를 이용하여 평균 온도가 5000℃에 달하 ... 연소하므로 산소 아세틸렌화염으로도 쓰인다.2. 아세틸렌의 제조법탄화칼슘에 물을 첨가하는 방법과 탄화수소를 분해하는 두가지 방법이 있다. 전자는 예로부터 행해지고 있던 방법이고 후자 ... 하는 연소열을 반응로 안에 축열하고 이것에 원료 가스를 통하여 열분해 하는 방법인데 동일 노내에서 가열과 분해를 교대로 실시하는 방법이다. 부분 연소법은 원료 가스에 산소를 혼합하고 원료
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    | 리포트 | 4페이지 | 2,000원 | 등록일 2007.04.18 | 수정일 2014.04.28
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    [공학]열처리 종류 및 표면경화처리법 설명
    표면경화 시키는 처리4) 플라즈마침붕(Plasma Boriding)처리 부품을 음극에 그리고 노벽을 양극의 직류 전원에 연결된 진공로에서 저압으로 유지된 염화보론과 수소의 혼합가스 ... 는 가스 분위기 속에서 처리 부품을 침질탄화 온도에서 2 ~ 5 시간 동안 유지한 다음 퀜칭하여 표면경화 시키는 처리5) 플라즈마 침질탄화(Plasma Nitrocarburizing ... 는 재료에 쓰인다.고온에서 급랭(急冷)하여 보통이면 일어날 변화를 일부 또는 전부 저지하여 필요한 특성을 끌어내는 담금질, 한 번 담금질한 후 비교적 저온에서 가열하여 담금질로써 저지
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    | 리포트 | 14페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.04.05 | 수정일 2018.05.28
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    [열역학]연료전지
    분해법(Direct Cracking), 플라즈마 촉매개질법(Plasma Catalytic Reforming), 흡착부과반응개질법(Sorption Enhanced reaction Pro높다. ... 게 된 것은 1950년대 후반의 일로, 1959년 5 kW의 수소-산소 연료전지가 영국의 F.T.베이컨에 의해 실증시험(實證試驗)됨으로써 각광을 받게 되었다. 그 후 1960 ... ~1970년대에 걸쳐 제미니 및 아폴로 우주선에 연료전지가 탑재되었다. 이 전지는 다같이 알칼리 수용액을 전해질로 하며, 순수한 수소와 산소를 사용한다. 그 후, 수소 외에 메탄과 천연
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    | 리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.04.21
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  • 자료 표지
    [광전자] 유기EL(유기LED)
    이 탄화수소 오염물인 경우 가스원으로 산소를 이용하여 플라즈마 처리를 수행하면 배출물로는 CO2, H2O가 생성되고 이들 물질은 감압 pump에 의해 대기로 배출된다. 플라즈마 세정 ... 으로 플라즈마 세정기술을 도입하여야 한다.데이터그래프{{{1-A(UV-O3)1-B(UV-O3){{2-A(Plasma)2-B(Plasma)먼저1-A의 그래프와 2-A의 그래프를 비교하면 이 ... 는 자외선세척보다 산소 플라즈마 세척법이 세척 후에도 기판에 남아있는 불순물 탄소 성분을 제거 함으로써 정공의 공급에 유리하도록 ITO의 일함수 값을 높이기 때문이고 플라즈마
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    | 리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.08.23
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  • 자료 표지
    반도체
    및 균일도⑤ 저온공정에 의한 치수 정밀도 유지- 200∼500℃정도의 비교적 낮은 온도에서 밀착성이 양호한 TiN 또는 TiC 등의 초경질 피막을 얻을 수 있어 공구류나 기계 ... 를 띤 입자의 수는 약 10-5정도이다. 따라서, negative glow를 cold, quasi-neutral 플라즈마라고 한다.② The sheath regioncathode s ... 의 존재 속에 반응성 기체를 첨가하여 ceramic coating을 하기도 한다. 이것을 reactive ion plating이라 하며 질소, 산소 그리고 탄소 함유기체를 넣어 질화물
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    | 리포트 | 16페이지 | 1,500원 | 등록일 2010.02.06
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    외과적 무균술
    4번 헹굼.4) STERRAD 58% H₂O₂ 플라즈마 방식. 수분이 없다.기능 및 현상장점 및 이점저온멸균(42-46℃)Micro surgical inst의 보호75분 cycle ... 한다. 실존하는 유기오염물질까지도 멸균하는 고 살균 산화제이다. Bacterial spore에 가장 강하다. 저온에서 효력을 유지시키는 능력이 있다. 환경친화적인 부산물이다.② 조건적절 ... 장비의 빠른 회전으로 장비사용의 효율성과 낮은 재고 수준으로 응급상황에 적극 대처한다.건조 소독방식사용자 환자에 대한 안전성위해성 없는 물질산소와 수증기만의 생성은 전원연결
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    | 리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.11.09
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  • 자료 표지
    반도체공정 (Deposition & Evaluation)
    를 들어 target재료로이 기판에 퇴적하기 전에 산소와 반응하여가 되도록 하는 것이 필요하다. ? reactive sputteringFigure 1.10 Simple parallel ... 는 전형적인 RF 진동수 범위인데 특히 13.56 MHz이 많이 사용된다. 그 이유는 이 진동수가 국제적으로 plasma 공정에 허용되었기 때문이다. Plasma의 발생 및 ... -wall???Cold-wall????Continuous motion??Epitaxial??Plenum??Nozzle??Barrel??Cold-wall planar???Plasma
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    | 리포트 | 39페이지 | 4,500원 | 등록일 2007.01.27
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