[OLED, LED] Sputtering을 이용한 박막 증착

소개

OLED 또는 LED (발광디스플레이) 실험을 하고 제출한 보고서 입니다. 실험 주제는 ` Sputtering을 이용하여 박막을 증착해보고, Sputtering의 특성을 파악해본다. RF Sputter를 직접 다루는 방법을 익하고, 진공 Pump들의 원리에 대해 알아본다.`이고 이것에 대하여 조사하고 실험하여 결과를 담았습니다. 필요하신 내용이 있다면 참고하시길 바랍니다.

목차

1. 실험목적
2. 실험기구 및 재료준비
3. 실험원리
- 진공 PUMP의 종류 및 원리
① 로타리 베인 펌프( Rotary Vane Pump )
② 로타리 피스톤 펌프
③ 로타리 기어펌프 (rotary pump)
④ 터보분자 펌프(turbo pump)
⑤ 확산 펌프(Diffusion pump)
- Sputtering의 원리
- Deposition rate (Å / min)
4. 실험방법
5. 실험결과
- 시간대별 증착한 사진
- 단차측정기(α-step)를 이용한 두께 측정
- 10분, 20분, 40분 두께 비교
- Deposition Rate
6. 결과분석 및 고찰

본문내용

1. 실험목적
Sputtering을 이용하여 박막을 증착해보고, Sputtering의 특성을 파악해본다. RF Sputter를 직접 다루는 방법을 익하고, 진공 Pump들의 원리에 대해 알아본다.

2. 실험기구 및 재료준비
RF Sputtering Sysytem, Chamber, Ar Gas, Rotary Pump, Diffussion Pump , 단차측정기(α-step), Glass

3. 실험원리
- 진공 PUMP의 종류 및 원리
① 로타리 베인 펌프( Rotary Vane Pump )
일반적으로 가장 많이 쓰이는 진공펌프로, 기본 원리는 그림과 같다. 그림에서 보면 내부 구조가 로타 베인 및 실린더로 되어 있는데, 로타의 중심과 실린더의 중심은 편심되어 있다. 베인은 스프링 또는 원심력에 의해서 실린더 내면에 밀착된 상태로 돌아가게 되는데, 이때 베인과 베인 사이에 공간이 새기게 되고, 이 공간은 로타의 회전에 따라 용적이 달라지게 된다. 한쪽 베인이 흡기부를 지나면서 공간의 용적은 점차 커지게 되고 ,다음베인이 흡기부 끝단을 통과할 때 공간용적은 최대가 된다. 이렇게 하여 흡기부로부터 빨아들인 공기는 다음 단계에서 압축이 되고 이것이 배기부를 지나면서 배출이 되어 진공을 만든다.

② 로타리 피스톤 펌프
"키니펌프"라 불리어지고 있는 펌프로서 기본 작동 원리는 그림과 같다. 실린더의 중심과 편심이 되어있는 로타가 실린더의 축을 중심으로 캠운동을 하고 있고, 피스톤이 로타의 표면에 밀착된 상태로 왕복운동을 하면서 실린더가 두 개의 공간으로 분할된다. 이 공간의 용적이 로타의 회전에 따라 수축, 확장을 반복하면서 공기를 흡입한 후 이를 다시 압축시켜 배출하는 것이다. 최대 진공도도 로타리 베인펌프와 거의 비슷하나, 회전수가 동일한 경우 로타리 베인 타입 보다 흡입주기가 길게 되어 진공 발생의 진동이 크게 되는 단점이 있다. 그러나 로타의 밀봉 작용이 베인의 경우보다 좋으므로, 수분이나 먼지등에 의한 진공도 저하가 적어 흡기 상태가 악조건인 경우에도 우수한 성능을 발휘한다.(단점: 소음과 진동이 심하다.)

참고자료

· 없음