플라즈마와 RF

소개

플라즈마의 기초와 RF의 역활이해 주제로 작성한 리포트

목차

(1) 플라즈마란 무엇인가?

(2) 플라즈마의 정의
1. 제4상태의 물질
2. 이온 가스
3. 플라즈마의 예

(3) 플라즈마의 응용분야

(4) 플라즈마의 종류
1. 열 플라즈마
①아크방전에 의해 기체 플라즈마화
②고주파 유도방전을 이용한 플라즈마
③그 밖의 열 플라즈마
2. 저온 플라즈마
3. 저온 플라즈마의 응용분야
①대기압 플라즈마
②진공 플라즈마
③차세대 플라즈마
4. 반도체 공정 플라즈마
①플라즈마 에싱(ashing)
②플라즈마 CVD
③PECVD 공정
④PECVD SiN, SiO 박막
⑤PECVD W, WSI 박막

(5) DC 플라즈마

(6) RF 플라즈마
1. Asymmetric system
2. Self DC Bias
(7) 고밀도 플라즈마
1. 종류
①유도결합형 플라즈마
②웨이브 가열에 의한 플라즈마
③정전결합플라즈마
2. 고밀도 플라즈마의 사용 이유
3. 유도결합 플라즈마의 원리
4. 헬리칼 공명장치
5. 전자 사이클로트론 공명 플라즈마 (ECR)
6. 랭뮤어 탐침(Langmuir Probe)의 구성

(8) RF의 이해
1. RF(Radio Frequency)
2. 플라즈마 식각에서의 RF의 활용

본문내용

플라즈마 이론
(1) 플라즈마란 무엇인가?
플라즈마라는 말을 물리학 용어로 처음 사용한 사람은 미국의 물리학자 `Langmuir`(랑뮈어)로서, 전기적인 방전으로 인해 생기는 전하를 띤 양이온과 전자들의 집단을 플라즈마라고 하고 그 물리적인 성질을 연구하는 것이 플라즈마 물리학이다. 물질 중 가장 낮은 에너지 상태는 고체이다. 이것이 열(에너지)을 받아서 차츰 액체로 되고 그 다음에는 기체로 전이를 일으킨다. 기체에 더 큰 에너지를 받으면 상전이와는 다른 이온화된 입자들, 즉 양과 음의 총 전하수는 거의 같아서 전체적으로는 전기적인 중성을 띄는 플라즈마 상태로 변환한다.
플라즈마 상태는 그 밀도와 온도를 그 주 파라미터로 사용하며 이 두 가지 요소에 따라 우리주변에서도 쉽게 찾아 볼 수 있는 플라즈마 상태들, 즉, 네온사인이나 형광등으로부터 시작하여 북극의 오로라, 태양의 상태, 핵융합로에서의 플라즈마 상태 등 광범위하게 분류되어질 수가 있다. 플라즈마라는 용어가 일반인들에게는 생소하게 들릴지는 모르지만 각 가정에서 조명등으로 사용하고 있는 형광등이나, 길거리에서 흔히 볼 수 있는 네온사인, 한 여름에 소나기가 쏟아지면서 자주 발생하는 번갯불과 같은 것들이 플라즈마 상태라고 하면 이해하기가 쉬울 것이다. 이중 공업적으로 이용이 활발한 플라즈마는 저온 글로우 방전 플라즈마로서 반도체 공정에서 플라즈마 식각(Plasma Etch) 및 증착(PECVD: Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition), 금속이나 고분자의 표면처리, 신물질의 합성 등에서 이용되고 있으며, 공정의 미세화, 저온화의 필요성 때문에 플라즈마 공정이 종래의 공정을 대체하고 있으며, 경우에 따라서는 플라즈마만이 제공할 수 있는 물질이나 환경을 이용하기 위한 응용분야가 점점 더 확대되고 있다.

참고자료

· 플라즈마식각기술 염근영 저