[진공공학]크라이오펌프(Cyro Pump)

소개

반도체공정,박막공학,진공공학등을 공부하는 학생들을 위한 프리젠테이션 리포트입니다.
그 어떤 자료보다 자세하게 고진공 펌프에 대해서 나와 있습니다. 참고로 A+리포트입이다

목차

Cryo Pump
Cryopump의 응용 기술 및 범위
Cryopump의 고장 진단과 응급조치
Cryopump의 사용 목적 및 원리 etc
Pump의 분류 및 Cryopump 특성
Cryopump 기초 이론 및 이용 분야

본문내용

진공의 발견-토리첼리의 실험
*
기체압력의 근원
압력의 발생
용기 내의 기체분자들은 사방으로
움직이면서 벽이나 단면에 부딪힘
기체압력의 근원
압력은 기체분자들에 의해 단위면
적당 벽 또는 물체의 표면에 가해
지는 힘이고, 근사적으로 단위부피
당 에너지임
*
여러 가지 압력단위의 환산
*
진공의 이용 분야
*
진공 펌프의 분류
Positive Displacement Pump
Entrapment Pump
*
Cryo Pump 사용 분야
Ion
implanter
Sputter
OLED
Evaporator
Furnace
고진공 및 초고진공을 필요로 하는 장비
Cryo Pump
*
Cryo Pump 사용 분야
*
Cryo Pump 사용 목적
*
Pressure
Major Gas Load
Atm
Wet air
10-3
Water vapor (75~95%)
10-6
H2O, CO
10-9
CO, N2, H2
10-10
CO, H2
10-11
H2
Cryo Pump 사용하는 이유
고청정(Oil less)과 높은 원료처리량 요구
수증기와 gas에 대한 우수한 Pumping능력
진공도별 gas부하의 특성
수증기가 gas부하의 대부분이 되는 이유
Vacuum : 10-1 torr ~ 10-11 torr
*
왜 10-1 Torr보다 낮은 압력에서 가동해야 하나?
*
왜 10-1 Torr보다 낮은 압력에서 가동해야 하나? (평균자유거리)
평균자유거리(Mean Free Path)
= 총진행거리 ÷ 충돌수
(온도/ 압력/분자직경2)
*
왜 10-1 Torr보다 낮은 압력에서 가동해야 하나? (기체의 열전도)
두 판 사이의 거리가 10cm라고 하면 압력이 낮을 때는 열유량이 압력에 비례,
압력이 아주 높아져 평균 자유거리가 두 판 사이의 거리보다 훨씬 작아지면
압력에 관계없이 일정한 열유량을 가짐

참고자료

· 없음