[공학]주사전자현미경, UV/VIS/NIR (자외선 / 가시광선 / 근적외선 분광광도계), X-선 회절, X-선 광전자 분광기(X-Ray Photoelectron Spectroscopy), 미소경도측정

소개

주사전자현미경, UV/VIS/NIR (자외선 / 가시광선 / 근적외선 분광광도계), X-선 회절, X-선 광전자 분광기(X-Ray Photoelectron Spectroscopy), 미소경도측정에 대해서 자세히 정리 해놓았습니다.

목차

Ⅰ.주사전자현미경(Scanning Electron Microscope)
[주사전자현미경의 원리]

Ⅱ.UV/VIS/NIR (자외선 / 가시광선 / 근적외선 분광광도계)
-분광법
-분광광도법
-분광광도계의 구조

Ⅲ.X-선 회절

X-선 회절실험의 특징
<<박막시편>>

Ⅳ.X-선 광전자 분광기(X-Ray Photoelectron Spectroscopy)

Ⅴ.미소경도측정

본문내용

Ⅰ.주사전자현미경(Scanning Electron Microscope)


주사전자현미경은 전자빔을 시료 표면에 조사하여 튀어나오는 2차 전자를 이용하여 관찰 하는 현미경을 말한다. 주사전자현미경은 전자의 발생부인 전자총 부분과 전자를 모아서 조 사해주는 렌즈가 있는 COLUMN, 그리고 시료가 놓이고 검출기(Detector)가 있는 Chamber, 그리고 영상을 보여주는 모니터와 전체를 조정하는 패널로 구성된다.
[주사전자현미경의 원리]
주사전자현미경은 전자총 부분의 Filament에 전원을 가하여 방출된 전자를 높은 전압으로가속하여(10-40kV) 집속렌즈로 모아서 시료 표면에 조사시켜 시료에서 방출되는 2차 전자 를 검출하여 영상을 만드는 원리를 이용하였다. 그림2-3.은 열전자방출 전자총의 구조를 보 여 준다.
전자총에서 전자를 생산하는 방법에는 두가지가 있는데, 하나는 필라멘트를 고온으로 가열시켜서 필라멘트의 표면으로부터 자유전자가 진공 중으로 방출되도록 하는 법이고, 다 른 하나는 고진공 중에서 필라멘트 표면에 고압의 전위차를 걸어주어 전자를 방출시키는 법 이다. 앞의 것을 열전자라 하고, 후자를 전위차계전자(Field emission electron)라고 한다.
그림2-4.는 전위차계전자총의 필라멘트를 보여준다.
전자총으로부터 방출된 전자는 가속전압에의해 가속되어 다시 집속렌즈로 모아서 시료에 조사된다. 시료에 조사된 1차 전자는 2차 전자를 비롯한 X-선등,여러가지의 다양한 정보를 갖는 전자를 방출하게 되는데, 여기서 2차 전자만을 검출하여 영상을 만드는 것이 주사전자 현미경이다.

참고자료

· http://www.metalkorea.biz/micro.html
· http://w3.kunsan.ac.kr/~material/txt/XRD/xrd-xtra.hwp
· http://www.mecasys.co.kr/research/water.htm