[졸업논문]마이크로펌프 (Micro-electromechanical Pump)

소개

마이크로펌프와 관련된 학부 졸업논문인데, 교수님들 앞에서 발표했던 PPT 파일(15장)과 그 발표내용(2장) 자료입니다.

목차

◈ 서론 (마이크로펌프의 필요성)

◈ 마이크로펌프의 구성

◈ 마이크로펌프의 종류
 - 정전형펌프
 - 압전형펌프
 - 열공압형펌프
 - EHD펌프
 - BUBBLE JET 펌

◈ 마이크로펌프의 적용예
 - 초소형주사기

◈ 결론

◈ 참고논문

본문내용

MEMS (Micro Electro Mechanical System)란?
마이크로머시닝 기술을 이용해 마이크로미터 단위의 초소형 센서나 액추에이터 및 전기 기계적 구조물을 제작, 실험하는 분야. 초소형 시스템 혹은 초소형 정밀기계.
mm 기술에 의해 제작된 미세 기계는 mm 이하 정밀도를 구현 가능.
응용분야는 광학용, 각종 속도나 압력 측정 센서, 초소형 모터나 기어, 생체학 등

펌프란? 기계적으로 진공/고압 만들어 액체를 흡입/도출 하는 것
마이크로 펌프는 1980년대 후반부터 발전하기 시작해 각종 센서와 구동기 최근 개발.
마이크로펌프 : 크기가 수 mm → 화학물 분석시스템, 세포융합 시스템, 약물 전달기 등
⇒ 생물학, 화학, 의공학 분야에의 넓은 응용 가능성 보여줘…
미소유량 제어가 가능한 마이크로펌프의 개발 관련 연구 활발

액추에이터 : 전기, 유압, 압축공기 등을 사용하는 원동기
보통 유체E 이용해 기계적 일을 하는 기기 - 자기장, 압전형, 정전형 등
구동장치로서의 중요한 역할

PUMP CHAMBER : 펌프 실 (밀폐 공간)
FLOW RECTIFIER : 유량 정류기
PUMP DIAPHRAGM : 격막, 2종 액체/기체가 섞이지 않도록 설치된 막

마이크로 펌프는 구조와 구동방식에 따라 분류 가능
왕복운동, 연동운동 하는 기계 : 박막, 밸브/노즐/디퓨저, 독립적으로 구성 → 제어가 쉽다.
비기계식 마이크로 펌프 : 전극과 유로 등으로 구성

참고자료

· [1] R. Zengerle, S. Kluge, M. Richter and A. Richter, “A Bidirectional Silicon Micro Pump,”  Proc. IEEE Microelectro-Mechanical Systems Workshop, Amsterdam, Netherlands, Jan. 29 – Feb. 2, pp. 19-24, 1995.
· [2] 김영수, 지영훈, 양의혁, 양상식, “마이크로 히터를 이용한 열공압형 액튜에이터의 제작,” MEMS 연구회, 아주대학교, 3월 30일, pp. 13-19, 1996.
· [3] O.C. Jeong and S. S. Yang, “Fabrication and Drive Test of a Thermopneumatic Micropump with the corrugated Diaphragm,” Proc. ICEE98, Kyuongju, Korea, July, 21-25, Vol 1, pp. 902-905, 1998.
· [4] 최형일, 김종민, 최동훈, 맹주성, “고효율을 위한 단일 실린더를 가진 점성구동 미이크로 펌프의 최적설계”, 대한기계학회 논문집 A권, 제27권, 11호, pp. 1989-1896, 2003