spin coating를 이용한 ZnO박막 증착

소개

spin coating를 이용한 ZnO박막 증착 실험에 대한 예비&결과 래포트 입니다~!
도서와 논문등에서 자료를 수집하여 내용이 알차고 편집또한 깔끔해 A+받은 레포트 입니다~!
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목차

1. 서 론

2. 이 론
가. Spin Coating의 원리 및 장점
(1) 원 리
(2) 장 점
(3) 적 용 예

나. Spin Coating의 공정
(1) Deposition
(2) Spin-up
(3) Spin-off
(4) Evaporation

다. Spin Coating에서의 결함
(1) Comets
(2) Striations

3. 실험장치 및 방법
가. 실험장치 및 시약
나. 실험방법
다. 실험 장치 및 시약조사

4. 실험결과 및 토의

5. 결 론

6. 참고문헌

본문내용

1. 서 론
Ⅱ-Ⅳ족 산화물 ZnO는 hexagonal wurtzite 결정 구조를 가지며 약 3.3eV의 넓은 광학적 밴드갭을 가지는 반도체 물질이다. ZnO 박막은 아주 강한 압전성과 piezo-optic 효과를 가지고 있어서 Bulk acoustic wave, acoustic-optic 소자 등으로 사용된다. 또한 자외선 및 적외선의 반사율이 높은 에너지 절약형 창유리 코팅재료, 태양전지, 환원가스검출센서 등 그 응용범위가 매우 광범위 하다. ZnO 박막은 sputtering, spray pyrolysis, metalorganic, sol-gel과 같은 여러 가지 방법으로 제작될 수 있는데 특히 sol-gel법을 이용한 ZnO박막은 낮은 공정 온도와 졸의 우수한 화학적 균질성, 유동성, 겔화 특성, 겔의 높은 반응성 및 고순도의 생성물을 얻을 수 있는 드의 장점을 지니고 있다. 이번 실험에서는 sol-gel을 이용한 Spin coating 법으로 ZnO분말을 제조함으로써 박막재료 제조공정의 이해를 돕는다.

2. 이 론
가. Spin Coating의 원리 및 장점
(1) 원 리
- Spin coating법은 Sol을 회전되는 기판 위에 분사한 후 건조와 열처리 과정을 거쳐 박막을 형성 하는 방법으로 물질의 얇은 박막으로 코팅되어진 평면인 물체로 구성된 장치에 많이 사용된다. 여기에 코팅재료로 쓰이는 물질들은 어떠한 용매에 용해가 되거나 혹은 액체상태로 존재할 수 있는 물질이어야 한다. 그래야만 Spin Coater를 이용하여 코팅 시킬때 코팅재료들이 퍼져나가면서 코팅이 가능하다.

(2) 장 점
- 장치가 간단하고 막의 두께를 균일하게 얻을 수 있을 뿐만 아니라 용액의 점도, 기판의 회전속도를 조절함으로써 막의 두께를 조절할 수 있다. 또한 기공의 크기, 기공의 부피, 표면적과 같은 미세구조를 제어하기가 용이하기 때문에 널리 이용된다.

참고자료

· 가. 전자재료 (김봉렬, 한신문화사, 1979) p 130 ~ 137
· 나. 졸겔법으로 제작된 ZnO박막의 물성에 관한 연구 (논문)
· (전북대학교 박재영 2005)
· 다. 졸-겔 방법을 이용한 ZnO와 Zn1-x MxO(M=Mg,Ca) 화합물 박막의 제작 및 그 구조적, 광학적 성질에 관한 연구 (건국대학교 김은실 2002)
· 라. 고효율 GaAs/GaAs, GaAs/Ge 화합물 태양전지 제조에 관한 연구 (산업자원부)
· 마. http://blog.naver.com/wolfhhh?Redirect=Log&logNo=40005878720
· 바. http://blog.naver.com/pcb?Redirect=Log&logNo=50009998019
· 사. http://100.naver.com/100.nhn?docid=105063