SEM예비보고서

소개

SEM (전자현미경) 실험에 대한 예비보고서 입니다.

목차

1. 실험 제목
2. 실험 목적
3. 이론
4. 실험 기구
5. 실험 방법
6. 참고 문헌

본문내용

1. 실험 제목
SEM

2. 실험 목적
기판 위에 얹은 Co 박막을 SEM 장비를 통해 분석함으로써 SEM 장비의 원리를 이해하고 Co 박막의 위상학적 정보를 수집하며, 이를 분석하여 Co 박막의 자기적, 결정학적 성질을 발견한다.

3. 이론
◉ 기본 원리
전자 현미경은 일반 광학 현미경과는 달리 일반 빛을 광원으로 하지 않고, 인위적으로 발생시킨 전자를 광원으로 하고 있다. 먼저 시료에 주사된 전자(1차 전자)가 시료의 정보를 갖고 나오는 전자(2차 전자) 위치를 알 수 있을 것이다. 전자 현미경에서 CRT상으로 이미지를 보여주는 기본적인 이미지는 2차 전자이다. 이 저자를 시료 표면에서 10nm 이하의 깊이에서 발생되므로 거의 시료 표면의 정보만을 갖고 있음을 알 수 있다. 즉, 이 정보는 시료 표면 이미지를 의미한다.

◉ SEM의 작동 과정
전자현미경은 거의 빛의 속도로 이동하는 전자의 파동성을 이용한 전자가속기로서, 전자기렌즈를 이용하여 전자빔의 초점을 형성한다. 가속전압은 대게 60-100keV이고 발광 소스로는 텅스텐으로 만든 필라멘트를 사용하는데, 이를 전자총이라고 부른다. 전자총에 고전압이 걸리면 필라멘트가 2700K까지 온도가 올라가서 필라멘트의 끝부분에서 열전자를 방출하게 된다. 이 방출된 열전자 혹은 전계전자(Field-emitted electron)들은 집광렌즈에 의해서 모아지고 대물렌즈에 의해서 시편의 표면에 초점이 형성된 다음, 주사 시스템(scanning system)의 전자기 굴절 코일, 즉 electromagnetic deflection coil에 의해서 시료의 표면을 훑게 된다. 입사빔이 시편에 충돌하면 시편에서는 2차 전자들이 방출되는데, 이 2차 전자들이 닿으면 빛을 방출하는 scintillation 계수기에 모아지고 이 빛의 신호들이 광증폭기에 의해 증폭된 다음 확대된 영상을 스크린 혹은 CRT에 보여주게 된다.

참고자료

· ◉물리학 실험 B-2 SEM 실험 매뉴얼