[재료공학]주사전자현미경(SEM),EDS,WDS

소개

주사전자현미경(SEM),EDS,WDS에 관한 조사입니다.

목차

쾌삭강(Free-cutting steal)
1. 쾌삭강(Free-cutting steal)이란?
1. 쾌삭강(Free-cutting steal)이란?
2. 쾌삭강의 종류

주사전자현미경(SEM)
1. SEM의 원리
2. SEM의 특징
3. SEM의 용도
4. SEM의 구조
5. SEM의 배율 결정

EDS(energy dispersive spectroscopy)

WDS(wavelength dispersive spectroscopy)

본문내용

전자총대신에 Field Emmission(FE) 전자총을 장착한 FE-SEM은 1.5nm이하의 고분
해능으로 고화질의 화상을 얻을 수 있기 때문에 형상관찰에 폭넓게 이용되고 있다.

2. SEM의 특징

SEM은 광학현미경과 비교하여 얻을 수 있는 화상의 초점심도가 2배이상 깊으며, 동시에 2배이상의 높은 분해능(FE-SEM에서는 최대 0.6nm)를 얻을 수 있다. 주로 사용되어지는 2차전자상은 광학현미경보다도 고배율(1000x이상)으로서 입체감이 있는 화상이므로 상의 해석을 본 그대로 판단할 수 있다. 2차전자검출기와 반사전자 또는 X선 검출기를 장착하여 공시에 여러 종류의 정보를 얻을 수 있다. 또, 특수하게 만들어진 1대 또는 2대의 2차전자 검출기, 혹은 반사전자검출기로 얻은 신호
를 PC 처리하여 시료의 깊이방항을 포함한 3차원 정보를 얻을 수 있다.


EDS(energy dispersive spectroscopy)

EDS와 WDS는 다같이 시편상에서 발생되는 미약한 X선을 검출하여 시편을 이루고 있는 원소의 정성 및 정량분석, 성분별 분포맵핑 (X-Ray Mapping), 특정라인에서의 원소농도 프로파일(Line Profile)등을 할 수 있으나 EDS는 WDS에 비해 속도, 간편성, 다원소 동시분석등의 장점이 있어 주사전자현미경에서의 가장 보편적인 분석장비로서 위치를 확고히 하고 있다. 이의 가장 큰 특징은 정성에서는 한화면에 모든원소 (4Be-92U)를 스펙트럼 형태로 나타내주므로 WDS처럼 원소별로 단결정 분광기를 움직여야하는 불편이 없고 정량면에서는 100초 정도의 분석시간으로 0.5
WT%이상의 원소를 분석 가능하며 장시간 분석시는 최소 0.1WT%까지 검출 가능하다. 한편 정량 분석시의 오차범위는 ±2% 이내가 된다.

참고자료

· 없음