[재료과학]XPS실험(XPS의 원리와데이터분석)

최초 등록일
2006.06.07
최종 저작일
2005.11
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XPS의 간단한 원리와 두개의 데이터 그래프 분석 자료
덤으로 초고진공에 관한 자료도 있다.

목차

[1]XPS의 원리
[2]XPS Peak Data
[3]초고진공이란?

본문내용

[3]초고진공이란?
-불순물이 적은 청정한 공간을 필요로 하는 반도체 제조공정, 핵융합장치, 진공도금, 고에너지 입자가속기, 재료개발, 우주개발 등에 중요한 기술이다. 해발 0m의 표준기압은 1atm(기압)으로 760torr(토르, 1torr=1㎜Hg), 또는 1,013hpa(헥토파스칼)이며 인간은 이런 압력 근처에서 생활하고 있다. 이런 공간에서는 1㎤당 약 1019개의 기체 분자가 존재한다. 이런 상태에서 서서히 진공도를 높여가면 기체의 분자수는 줄어들면서 10-2~10-6torr 정도가 된다. 따라서 공간은 1㎠당 약 107개의 분자수가 되어 매우 희박한 상태가 된다. 10-7~10-11torr에서는 진공조 내의 분자도 매우 드문 상태가 된다. 초고진공이란 10-9torr 이하의 진공도가 매우 높은 상태를 말한다. 이런 진공을 실현하는 초고진공기술은 10-13~10-16torr인 은하계 내의 우주공간의 진공도를 겨냥하여 개발이 추진되고 있다. 초고밀도집적회로(VLSI)와 같은 반도체 제조공정에서는 실리콘단결정판(기판)에 갈륨이나 실리콘(규소) 등의 분자 빔을 쪼여 결정을 성장시킨다. 이런 경우에 작업실 내의 기체의 밀도가 충분히 낮지 않으면 기판표면이 기체 분자로 덮여 기판에 기체 분자가 흡착되어 완성된 반도체의 특성을 훼손시킨다.
또 플라스마를 봉입하는 형의 핵융합로에서는 불순물이 있으면 플라스마의 열이 방출되어 핵융합반응에 필요한 점화온도에 미달해버린다. 따라서 플라스마는 초진공용기에 수용해야 한다. 소립자물리학분야에서도 고에너지가속기 등에 초고진공기술이 이용되고 있다. 가속기로 소립자를 가속하는 경우 가속공간에 잔류 기체 분자가 있으면 소립자와 충돌하여 산란하기 때문에 원하는 조건을 얻을 수 없게 된다. 그래서 가속기 내의 기체 분자밀도를 충분히 낮추어주어야 한다.

참고 자료

없음

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