[물리실험]미소질량 및 미소이온전류 측정

최초 등록일
2006.06.07
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1999.05
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진공증착으로 얻어진 0.1nm에서 수 100nm두께의 박막의 미소질량 측정 및 이온게 게이지의 미소이온전류 측정

목차

1. 개요
2. 측정
3. 센서
4. 실험장치
5. 실험방법
6. 주의사항
7. 이론적 배경
8. 실험결과 및 분석

본문내용

1. 개요 : 진공증착으로 얻어진 0.1nm에서 수 100nm두께의 박막의 미소질량 측정 및 이온게 이지의 미소이온전류 측정

2. 측정 : Ag 박막의 질량 및 MgF2 두께 측정(간섭 색깔과 비교)

3. 센서 : 수정진동자. 회로 : 발진회로, 피라니게이지(I_V)회로

4. 실험장치 : 테이블, 변압기, 슬라이닥, 텅스텐보트, 피라니게이지, 수정진동자, 유리기판, 쳄버, 유리벨자, 확산펌프, 로타리펌프, 주파수 측정기

5. 실험방법
<< setting >>
1> 시스템 점검하고 제일 먼저 냉각수를 확인한다.

2> DC power supply와 Freq.counter에 전원을 넣고 공진주파수가 약 6000kHz인지를 확인.

3> 은시료를 보트(boat)에 넣고 슬라이드 glass를 유리기판에 붙이고 chamber 위에 놓는다.

4> Rotary pump를 켠다.

5> 피라니게이지 전원을 넣고 Auto 스위치에 둔다. 피라니게이지로 L상태에서 0.1Torr ( 100mTorr )이하가 될 때까지 기다린다.

6> Diffusion pump를 켠다. 이 때 다시 냉각수를 확인한다. pump oil이 끓어 제대로 작동하기 까지는 대략 20분에서 30분정도 걸리며, 따라서 원하는 진공을 얻으려면 약 1시간정도 기다린다. 아직까지는 Ionization guage controllerms 손대지 않는다.

7> 이온게이지에 파워를 넣고, gauge 1, 2중에서 선택하여 on을 눌러 진공을 확인한다. 이온 게이지로 10-5Torr로 내려갈 때까지 기다린다.

8> 보트전류를 슬라이닥스 ( 약 40V부근 ) 및 트랜스로 증가시켜서 가열한다. thickness monitor를 ( quartz crystal, crystal holder, oscillator, frequency counter ) 관찰하여 초 당 약 100Hz 정도로 증착되게 증칙한다. 전체 5kHz 정도가 될 때까지 한다.

9> 계산하여 두께가 10nm, 100nm 등을 증착한다.

10> 증착이 끝나면 슬라이닥스 돌려 전압을 내린다.

참고 자료

없음

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