[전자현미경]스퍼터링 코딩기 테스트 방법

소개

스퍼터링 코딩기 테스트 방법
모델 : SC7640

목차

1. 테스트 절차
1.1. 준비
1.2. 진공 조절하기
1.3. 반응 전류 조절하기
1.4. 타이머 동작
1.5. 시스템에서 반응 가스를 배출하기
1.6. 자동 모드 동작
1.7. 시스템 종료

본문내용

기자재명 : Auto/Manual High Resolution Sputter Coater
모 델 : SC7640

1. 테스트 절차
시스템이 올바르게 동작하고 있는지 점검하는 이 테스트 절차는 아래와 같은 경우에 실시해야 한다.

1) 설치 작업이 완료된 후에
2) 진공 챔버를 오염시킬 수 있는 작업 후에

1.1. 준비
1) LEAK밸브가 잠겨있는지 점검해라(충분히 시계방향으로 돌려라).
2) 아르곤 실린더 조절기가 개방되어 있는지 점검해라. 그리고 압력을 0.7bar (5-10psi)로 조절해라.
3) 주전원이 연결되어 있는지 점검해라. 뒷면에 부착된 POWER ON/OFF 스위치를 아래로 내려라(ON). POWER 램프가 점등되고, MANUAL/AUTO 스위치에 붙은 램프가 AUTO에 점등된다.

1.2. 진공 조절하기
1) MANUAL/AUTO를 동작시켜라. 그러면, MANUAL램프가 점등된다.
2) TIME 조절기를 10초에 설정해라.
3) VOLTAGE 조절기를 0V로 조절해라(완전히 반시계방향으로 돌린다).
4) START SEQUENCE 버튼을 눌러라. 그러면, 로터리 펌프가 동작하기 시작하고(PUMP 램프가 점등된다) CHAMBER PRESSURE 미터기의 지침이 떨어질 것이다. 압력이 거의 10-1 mbar 까지 떨어질 때, 반응가스(process gas)로 시스템을 정화시키는 5초 동안 플러시 밸브(flush valve)가 열릴 것이다(FLUSH 램프가 점등된다). 시스템은 계속해서 펌프를 작동하여 감압할 것이다. 압력이 <10-1mbar 아래로 떨어졌을 때, I/LOCK 램프가 점등될 것이다. 시스템이 최종 단계에 도달할 때 까지(보통 < 1×10-2 mbar) 기다려라.

참고자료

· 없음