[디스플레이공학]OLED실험 박막제조공정

소개

대학교에서 OLED실험을 하면서 쓴 레포트 입니다.

박막제조공정이구요~

유기물질을 SPIN COATING를 이용하여 박막을 만드는 실험내용과 과정 결과정리

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목차

1. 조 및 보고자
2. 보고 일자
3. 목적
4. 실험 준비물
5. 실험 방법
6. 실험에서 알아볼 사항들
6. 실험 시 주의할 점
7. 실험과정 및 결과

본문내용

③박막을 형성하는 방법

- 저분자 물질
thermal evaporation(열증착), e-beam evaporation(e-beam 증착), sputtering, CVD(화학기상증착)법 등이 사용된다. 대표적으로 진공증착(CVD)이 많이 사용된다.

* 진공증착(CVD)이란?

고진공에 놓은 용기 속에 피복(被覆)될 물체와 그 표면에 부착시키려는 금속 등의 입자를 넣어 둔 다음, 히터에 전류를 흘러서 가열함으로써 그 금속입자를 증발시키면, 차가운 물체 표면에 응축해서 부착하는 것을 이용하여 표피(表皮)를 붙이는 방식이다.
모든 물품에 적용될 수 있다는 것이 특색이며, 천에 알루미늄을 붙이거나 플라스틱에 은을 붙일 수도 있다. 광학렌즈의 반사방지피막(被膜)도 플루오르화마그네슘 등을 진공증착시킨 것이다.

- 고분자 물질
spin coating 방법이 주로 사용된다.

* Spin coating법 이란?

용액을 기판 위에 떨어 EM린 후 기판을 회전시켜 그 원심력으로 박막을 형성하는 것을 말한다. 저분자 물질의 증착법인 진공증착법과 비교하여 진공 상태를 필요로 하지 않고 일반 대기 상온에서 할 수 있다는 특징을 가지고 있다.

참고자료

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