전기공학머신러닝 실험 10-2. 직접회로 소자 공정 미세 분석법(2) 예비보고서

소개

"전기공학머신러닝 실험 10-2. 직접회로 소자 공정 미세 분석법(2) 예비보고서"에 대한 내용입니다.

목차

1. 실험 명 2
2. 실험 개요 2
3. 이론 조사 2
4. 실험 기기 3
5. 예비보고서 4
6. 참고 문헌 6

본문내용

1. 실험명
실험 10-2. 직접회로 소자 공정 미세 분석법(2)

2. 실험 개요
직첩회로의 공정 및 재료분석법에 있어서 대표적인 미세 분석법(microstructure analysis)에 대한 원리를 이해하고자 한다. 본 챕터에서는 EDX, TEM, XPS, AES 등의 분석법에 대한 원리에 대한 이해 및 이를 이용한 데이터 시트의 분석에 그 목적을 두고 있다.

3. 이론조사
- EDX(에너지 분산형 X-선 분광법)
1) 특징
- Element Analysis: EDX는 시료 내 원소 조성을 확인하고 정량화하는 데 사용된다.
- 비파괴: 시료를 변경하지 않고 분석이 가능한 비파괴 기법이다.
- 미시 통합: 종종 SEM 또는 TEM과 통합되어 마이크로 또는 나노 규모에서 국부적인 분석을 수행한다.
2) 작동 원리
EDX는 고에너지 전자들의 집중된 빔을 시료 위로 향하게 함으로써 작동한다. 이 전자들은 시료의 원자들에서 내부 껍질 전자들을 이동시켜 X선으로 방출되는 에너지 차이를 일으킨다. 이 X선들의 에너지와 강도는 시료의 구성을 정성적이고 정량적으로 분석할 수 있게 해주는 존재하는 특정 원소들의 특징이다.

참고자료

· 광운대학교 전기공학과, 전기공학머신러닝, 17-25p.
· Goldstein, J., Newbury, D. E., Joy, D. C., Lyman, C. E., Echlin, P., Lifshin, E., ... & Sawyer, L. (2003). Scanning Electron Microscopy and X-ray Microanalysis. Springer.
· Egerton, R. F. (2005). Physical Principles of Electron Microscopy: An Introduction to TEM, SEM, and AEM. Springer.
· Briggs, D., & Grant, J. T. (2003). Surface Analysis by Auger and X-ray Photoelectron Spectroscopy. IM Publications.
· Boss, C. B., & Fredeen, K. J. (2004). Concepts, Instrumentation and Techniques in Inductively Coupled Plasma Optical Emission Spectroscopy. PerkinElmer.
· Malvern Panalytical. (2020). XRD Sample Preparation Webinar. Link.