진공 시스템 설계를 위한 펌프 용량과 배기 시간의 결정

소개

진공 시스템 설계를 위한 펌프 재질, 용량, 배기 시간을 설계하고 그 바탕이 되는 이론을 이해한다.


*이해를 돕기 위해 다양한 도형, 표, 그래프가 사용되었고 계산하는 과정은 빠짐없이 상세히 명시하였습니다.

목차

1. 진공 시스템 기본 설계
2. 진공 시스템 설계의 기본 고려사항
3. 진공 시스템의 구성
4. 진공 펌프 용량 선정
5. 진공 펌프 용량 선정을 위한 Simulation Model
6. 배관 Conductance가 배기속력에 미치는 영향
7. Chamber와 펌프를 연결하는 배관의 직경과 길이
8. 배기시간의 계산
9. 설계 및 분석
10. 결론

본문내용

1. 진공 시스템 기본 설계
진공을 어떻게 만들 것인가?
▶ 어떤 한정된 공간, 즉 chamber를 진공으로 만들기 위해서는 진공 펌프가 필요하다.

▶ 진공 펌프는 외부에서 공급되는 에너지를 이용하여 chamber의 공기를 chamber 밖으로 뽑아내거나, 펌프 내의 특정한 위치에 공기 분자들을 잡아 가두어 공기 분자들이 자유롭게 움직일 수 없는 상태로 만든다.

Gas transfer type
chamber 내의 공기를 펌프를 통해 완전히 외부로 내보내는 방식
Gas entrapment type
chamber 내의 공기를 펌프 내의 특정 공간이나 물질 내에 붙잡아두는 방식

2. 진공 시스템 설계의 기본 고려사항
▶ 진공 내에서의 작업에 필요한 공간 (V)을 작업에 소요되는 기체 부하 Qext하에서 원하는 진공도 P로 유지하여야 하며,

▶ 초기의 대기압으로부터 원하는 진공도까지의 초기 배기 (pumpdown)에 소요되는 시간을 최소화하여 작업에 이용할 수 있는 시간을 극대화하고,

▶ 운전이나 유지, 보수가 손쉬우면서도 위험의 요소가 적고,

▶ 제작과 운전이 경제적이어야 한다.

참고자료

· 없음