MOCVD법 PPT 자료

목차

1. CVD란?
2. MOCVD란? & MOCVD 시스템
3. MOCVD 전구체의 선택과 특성
4. DRAM & FRAM
5. MOCVD를 이용한 화합물 에피택셜 성장 메커니즘

본문내용

전구체 증기생성
전구체는 보통 버블러 라고 불리는 용기 안에 봉인되고 충분한 증기를 발생시키기 위해 열적 증발됨.
이때 전구체 물질이 유기금속 화합물이라면 CVD 공정은 MOCVD(metalorganic CVD)라고 불림.
전구체 용기로부터 반응실로 증기 이동
전구체 증기가 증착이 이루어지는 기판을 포함하고 있는 반응실 안으로 이동되고, 증기는 운송가스나 진공에 의해 또는 둘 다에 의해 이동됨.
증기의 운반과정 동안 운반 경로로는 전구체의 증발 온도보다 좋고 분해 온도보다는 낮은 온도로 유지되어야 함.

<중 략>

핵 생성: 기상에서 하전된 나노 입자가 생성되기 위해서는 생성물질이 기상에서 과포화 상태에 있어야 함.
과포화 상태란 어떤 물질이 기상에서 수용될 수 있는 한계를 넘어서서 과도하게 들어있는 상태를 말한다. 핵 생성에 핵으로부터 비로소 나노 크기의 입자가 성장함.
성장 모드 : 기상에서 생성된 핵들은 과포화 상태에 놓인 물질이 계속 달라 붙어 성장하기도 하고 생성된 핵들이 브라운 운동을 통하여 충돌에 의해 상호응집이 되어 성장함.

참고자료

· 없음