습식식각PPT

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목차

1. 식각 공정이란?
2. 식각 공정 종류?
3. 식각 공정 장비?

본문내용

식각(etching) 공정이란?
금속, 세라믹, 반도체 표면에서 불필요한 부분을 화학적, 물리적으로 제거하여 원하는 모양을 얻는 공정
건식 식각 VS 습식 식각

<중 략>

식각(etching) 공정의 종류?
1) SiO2
가) 특징
3SiO2 + 18HF = 3H2SiF6 + 6H2O
불소(F)는 산소보다 더 작은 이온반경을 갖는다
Si-O(1.62Å)보다 작은 Si-F(1.4Å) 결합을 이룬다
결합에너지도 Si-O 에 비해 작다
산소 자리에 들어감.

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