[전자현미경의 미세구조와 관찰] 실험 5. 투과전자현미경(TEM)을 이용한 재료분석

소개

전자현미경중 투과전자현미경(TEM)을 이용하여 실험한 레포트입니다.
사용한 시편은 우주공장에서 제조한 고무 공과 질화규소(SiN)성분을 가지는 초경공구 박막으로써 다이아본드 구조와 동일한 입방체의 구조를 나타내는 정보를 가지고 있는 시편 두가지를 가지고 관찰 하였습니다.

회절패턴과 면간거리 등을 알 수 있는 방법 및 시편관찰 영상도 포함되어 있습니다.

참고하세요

목차

1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결과

본문내용

1. 서론
투과전자현미경은 주사전자현미경과 마찬가지로 전자를 이용하여 미세구조를 관찰하는 현미경이다. 그러나 주사전자와 다른 점이 있다면 시편을 투과하여 관찰하는 것이다.
그러나 주사전자현미경보다 분해능이 10배정도 높은 2Å정도이며 결정구조의 대칭성이나 방향도 해석이 가능하다. 또 격자 영상을 3차원으로 관찰과 나노스케일에서 화학조성의 분석, 결함구조의 해석도 가능하다. 위상 콘트라스트에 대한 고분해능 영상을 회절패턴의 영상으로도 얻을 수 있다.
TEM의 시편은 두께 100㎚, 직경 3㎜의 매우 작은 디스크 시편을 시편홀더에 넣어서 사용한다. SEM의 단위는 ㎛단위인 반면에 TEM의 단위는 ㎚의 단위로써 매우 작은 단위이며 화학 조성적인 단위로써 SEM보다 더 높은 분해능을 가질 수 있는 것이다.
TEM의 구조를 이해하면서 장비를 작동하는 것을 관찰하고 시편에 대한 미세구조관찰과 영상처리에 대한 결과를 얻어 보도록 한다.

2. 실험방법
투과전자현미경은 네덜란드 필립스의 제품으로 제품명은 테크나이 20을 이용하여 실험하였다. 시편은 두 가지로 첫 번째 시편은 우주공장에서 제조한 고무 공을 가지고 관찰하였다. SEM에서 프로브를 만드는 것과 유사한 방법으로 초점을 오브젝티브로 맞추었고 SADP조리개를 이용하여 보고싶은 부분의 회절패턴과 입방구조를 확인하였다.
두 번째 시편은 질화규소(SiN)성분을 가지는 초경공구 박막으로써 다이아본드 구조와 동일한 입방체의 구조를 나타내는 정보를 가지고 있는 시편을 관찰하였다. 회절패턴을 확인하였다.

참고자료

· 없음