주사전자현미경 SEM 관찰 레포트

소개

SEM 관찰 실험에 관한 결과레포트입니다.

목차

주사전자현미경(SEM) 기본 원리 및 구조

1. 서 론
2. SEM의 구조
3. SEM의 영상의 형성

주사전자현미경(SEM)의 특징

SEM 관찰 전 시편준비시 유의할 점

실험 결과 및 고찰

본문내용

실험 목적
주사전자현미경(SEM) 관찰을 통해서 SEM이 어떤 목적에 의해서 사용되고 어떤 원리와 과정을 통해서 시험편을 관찰하게 되는지 광학현미경과의 차이점과 그 특징을 이해하는데 목적이 있다.
실험 이론
주사전자현미경(SEM) 기본 원리 및 구조
1. 서 론
SEM은 고체 상태에서 작은 크기의 미세 조직과 형상을 관찰할 때 널리 쓰이는 현미경으로서 1965년 최초로 상품화된 후 초점 심도가 대단히 깊고 3차원적인 영상의 관찰이 용이해서 복잡한 표면구조 나 결정 외형 등의 입체적인 형상을 높은 배율로 관찰할 수 있는 분석 장비이다. 활용도도 매우 다양해서 금속 파편, 광물과 화석, 반도체 소자와 회로망의 품질 검사, 고분자 및 유기물, 생체 시료와 유가공 제품 등 전산업 영역에 걸쳐 있다. 특히 X-선을 이용하여 작은 부피의 화학 조성을 빠르고 정확하게 측정할 수 있어서 이의 용도는 영상의 관찰이나 분석의 범위를 훨씬 능가하고 있다.

<중 략>

벽개의 모양이 강의 흐름과 같은 모양을 띄는 것을 확인할 수 있고 벽개면과 벽개면 사이에 높이차로 계단과 같은 모양도 확인해 볼 수 있다. 한 벽개면만을 확인하였을 때 평평한 파단면을 관찰 할 수 있기 때문에 취성파면임을 알 수 있다.
연성 파면
수만은 구멍들로 보았을 때 미세 void들의 성장으로 다수의 분화구 형태의 dimple임을 확인 할 수 있다. 즉 연성 파면임을 확인할 수 있따. scale이 커서 dimple의 방향성이나 dimple 내의입자는 확인하기 어렵다.
연성+취성 파면
dimple과 함께 매끄러운 파단면을 동시에 보여주는 것으로 볼 때 연성파면의 특징과 취성파면의 특징을 동시에 지니고 있는 연성 취성 전위 파면이라고 보여진다.
고찰
이번 SEM 관찰 시험에서는 연성, 취성, 연성+취성 파면을 SE image로 관찰 하였다. 광학 현미경으로 관찰할 수 있는 파단면과는 달리 전자현미경의 경우 분해능이 좋아 고배율로 물체를 관찰 할 수 있는데 여기서 SEM만의 특징이 돋보이는데 렌즈를 교환할 필요없이 전류의 변화만으로 배율을 조절하여 고배율과 저배율을 자유롭게 조절할 수 있었다. 또한 초점이 맞는 범위 즉 피사계 심도가 광학현미경보다 깊어 표면조도가 심한 시편까지도 관찰하기 하다는 것을 확인하였다.

참고자료

· 네이버블로그, http://platin.kr/
· Wikipedia, http://en.wikipedia.org/wiki/Electron_microscope
· 윤존도, “주사전자현미경 분석과 X선 미세분석”, 청문각, 2005
· Callister&Rethwisch/Fundamentals of Materials Science and Engineering/WILEY