제출용 고진공

소개

고진공

목차

1. Abstract
2. 실험목적 및 측정
3. 이론적 배경
4. 실험방법
5. 실험결과
6. Discussion
7. 결론

본문내용

1.Abstract
Rotary pump와 Turbo pump를 이용하여 초고진공을 만들고 그 과정에서 다양한 기체들의 분압 변화를 관찰하였다. 챔버 내부 압력에 상관없이 각 기체들의 분압비는 거의 일정했다. 한편, 챔버 내부 진공도가 커짐에 따라 기체 분자별 분압이 감소했는데, 감소하는 빠르기는 수증기>>이산화탄소> 수소> 질소> 산소 순이었다. 그러나 전체압력이 변할 때 줄어드는 속도를 고려하여도 분압의 크기는 수증기>수소>질소>이산화탄소>산소였다. 한편 기체별 분압의 크기는 분자량이 증가하는 순서와는 큰 관련이 없었다.

2. 실험목적 및 측정
초고진공(torr)를 얻는 실험을 해보고, 그 과정에서 잔류가스의 분압 변화를 질량분석기로 관찰한다. 그리고 Leak test를 연습해 본다. 그리고 Mass spectrometer로 고진공 및 잔류 가스의 분압을 측정한고 진공도에 따른 잔류 가스 분포를 관측한다.

<중 략>

라. 진공 Chamber를 가열하는 경우
온도를 높이면 평균 분자운동에너지가 커진다. 따라서 기체가 내부 벽에 가하는 힘 즉, 압력이 커질 것이다. 하지만 한편으로는 분자의 운동이 활발해져서 진공펌프를 빠져나가는 기체 양이 많아지므로 내부 기체 양은 줄어든다. 내부 벽에 충돌하는 운동과 진공펌프를 빠져나가는 운동 중 어떤 것이 더 우세한지는 여러 외부 요인에 의해 결정될 것이다.
한편, 온도를 높이면 에너지가 높아지므로 기체 분자가 이온이나 라디칼로 더 많이 분리될 수 있고, 여전히 전체적인 peak의 분포는 그대로 유지될 것이다.

참고자료

· [1] Quadrupole Mass Analyzer:
· http://en.wikipedia.org/wiki/Quadrupole_mass_spectrometer
· [2] Turbo Pump: http://en.wikipedia.org/wiki/Turbo_pump
· [3] Radical: http://100.naver.com/100.nhn?docid=53233
· [4] Ion pump: http://100.naver.com/100.nhn?docid=127269