주사전자현미경의 구성

소개

주사전자현미경(Scanning Electron Microscope)의 구성 및 기능에 대한 상세한 설명.
"전자현미경의 기본원리의 후속편으로 작성됨.

목차

3. 주사전자현미경의 구성
(1) 전자총(electron gun)
(2) 전자기 렌즈 (Electromagnetic Lens) : 렌즈 / 조리개 / 축조정 코일 / 주사코일 / 비점수차 보정 코일
프로브의 형성 / 시료표면 스캐팅 및 초점조절
(3) 영상신호 검출장치 : 이차전자 검출기 / 후방 산란전자 검출기 / X선 분석기
(4) 고전압 발생장치
(5) Stage와 시편 Holder
(6) SEM Electronics
(7) 진공계.

4. 전자현미경 시장의 전망

본문내용

주사전자현미경(Scanning Electron Microscope)은 고체 상태에서 작은 크기의 미세 조직과 형상을 관찰할 때 널리 쓰이는 현미경으로서 1965년 최초로 상품화된 후 초점 심도가 깊고 3차원적인 영상의 관찰이 용이해서 복잡한 표면구조나 결정 외형 등의 입체적인 형상을 높은 배율로 관찰할 수 있는 분석 장비이다. 활용도도 매우 다양해서 금속 파편, 광물과 화석, 반도체 소자와 회로망의 품질 검사, 고분자 및 유기물, 생체 시료와 유가공 제품 등 전 산업 영역에 걸쳐 있다. 특히 X-선을 이용하여 작은 부피의 화학 조성을 빠르고 정확하게 측정할 수 있어서 SEM의 활용분야를 획기적으로 확장해주고 있다.

참고자료

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