mems

소개

국민대 기자과 실험2 직접 작성한 A+받은 자료입니다.

목차

1.실험순서 및 실험 단계의 고찰

2.휘스톤 브릿지 출력 신호
3)Cut-off Frequency
4)오차 분석 고찰
5)자동차에 쓰이는 MEMS sensor의 응용사례

본문내용

온도 변화를 통해서 MEMS 소자의 바이메탈 캔틸레버는 측정된 변화가 마이크로 스케일의 값이므로 육안으로 식별하는 것조차 어려웠으며 온도변화에 따른 처짐량도 작았다. 이론적인 값처럼 나노스케일의 작은 변화였다.

이러한 변화를 계측하기 위해서 캔틸레버에 Piezoresistive element (압저항 소자)를 부착한 뒤 캔틸레버의 변형에 따라 발생하는 압저항 소자의 저항변화를 통해 변형된 정도를 확인 하였다. 그리고 압저항 소자의 미세한 저항변화를 측정하기 위해 휘스톤 브릿지를 사용하였으며, 출력되는 전압변화 신호로 저항변화를 측정하였다.
하지만 휘스톤브릿지를 사용해도 측정한 전압변화는 너무 미세하였다. 그래서 OP-amp에 연결하여 신호를 500~1000배 정도 증폭을 시키고 확인한 결과 값의 변화와 차이를 확인 할 수 있었다. 또한 Low pass filter를 연결하여 고주파수 대역에서 발생하는 잡음을 제거 한 뒤 전압변화 그리프를 봤는데, 이 경우 에는 더욱 곡선이 선명해 지는 것을 확인 하였다.

자료를 조사하면서 센서와 관련된 수많은 응용 기술이 개발 중이라는 사실을 확인 하였다. 자동제어 시간에 방안에 온도를 측정하는 센서를 설계하기 위해서 필요한 기술과 고려해야 되는 변위,변수에 관련해서 말씀해 주셨던 것이 생각이 났다. 얼마나 정확한 값을 빠른 시간에 측정 하는 것이 센서에 가장 중요한 목적일 것이다. 많은 분야에서 연구가 진행이 되고 차츰 적용되는 분야도 많아 질 것이다. 앞으로도 발전 가능성이 매우 많은 분야일 것이다.

참고자료

· 없음