상장애 보고서

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상장해 ( image disturbances )
주사전자현미경을 이용하여 분해능 또는 해상도가 좋고, 상질이 우수한 사진을 얻으려 할 때에 기기의 이상이 있다면 당연히 여러 가지의 상장해를 일으키지만, 이 외에 시료의 준비과정이나 상 관찰시의 적절하지 못한 조건 설정에 의해서도 상장해가 발생한다. 따라서 좋은 상질의 사진을 얻기 위해서는 상장해의 원인을 밝혀내고, 제거한 후에 관찰 및 촬영을 하여야 한다.
그러나 그 원인이 무엇인가를 판단함에 있어 이론적으로 설명할 수 있는 경우가 있기는 하지만 그 대부분의 예가 경험적으로 얻어진 결과로써 판단하는 것이 많다. 따라서 얻어진 상의 장애 원인을 찾아내는 일은 상당한 경험을 필요로 한다.
1) 상장해 종류와 원인 (Type of Image Disturbances and their Causes)
상장해의 현상
원 인
분해능의 부족
- 부적절한 가속전압 설정
- 필라멘트의 부족한 가열로 인한 불안정한 전자방출
- 부적절한 전자 프로브 직경
- 대물 조리개의 잘못된 위치설정
- 불충분한 비점수차 보정
- 부적절한 초점심도
- 과도한 배율
- 대전현상과 자화
- 카메라 장치의 초점맞춤 불량
상질불량
- 부적절한 가속전압 설정
- 부적절한 프로브 전류 설정
- 불충분한 비점수차 보정
- 과도한 광전자 증배관(photomultiplier) 증폭도에 의한 잡음
- 부적절한 대비와 밝기
- 부적절한 시료준비
- 시료와 검출기 사이의 부적절한 위치관계
- 시료의 기울이기 부족
상의 잡음
- 가속전압의 불안정
- 검출기의 방전
- 시료표면에서의 대전
- 음극관의 이상이나 더러운 음극관 화면

참고자료

· √ 주사전자현미경의 기초 -일본전자현미경학회 관동지부편
· √ 주사전자현미경 분석과 X선 미세분석 - 윤존도, 양철웅, 김종렬, 이석훈 공저
· √ 금속재료 실험 - 김학윤, 연윤모, 지무성, 홍영환, 송건 공저