SEM ppt 발표자료(주사전자 현미경)

소개

sem ppt 발표자료

목차

1현미경

2 SEM의 정의

3 SEM(주사전자현미경)의 구조

4 SEM 원리

5 SEM의 특징

본문내용

Electron Microscope
Optical microscope
1. 현미경
1. 현미경의 종류
2. 광학현미경과 주사전자현미경 비교
광학 현미경
주사전자 현미경
매질
대기 중
진공
렌즈
광학렌즈 (상 확대)
전자렌즈
상 종류
투과상, 반사상
이차전자, X-Ray 등
분분석
불가능
가능
광원
자외-가시광선
전자빔
배율
10 ~ 1,000배
10 ~ 30만배
Resolution
5 ~ 0.1μm
7 ~ 0.6 nm
1. 현미경
3. 광학현미경과 주사전자현미경의 사진
동일 시료를 관찰한 경우의 광학현미경의 이미지와 SEM의 이미지
1. 현미경
-
2. SEM(scanning electron microscope)
주사전자현미경(scanning electron microscope)은 전자총으로 전자를 물질에 쏘아보내서 튀어나오는 2차전자, x선 등을 분석해서 물질표면의 미세구조를 관찰하거나 구성원소를 분석하는 장비
전자총
대물렌즈
시료
Image 표시부
제1,2 집속렌즈
3. SEM(주사전자현미경)의 구조
2차전자 검출기
전자총 : 전자파를 만들고 가속시킴
집속렌즈 : 전자파를 모아 시편에 쪼임
대물렌즈 : 시편 통과한 전자파를 확대
Image 표시부 : 만들어진 확대영상 눈으로 관찰
2차전자 검출기 : 시료로부터 방출되는 다양한 전자신호를 측정
4. SEM원리
집속된 전자빔을 시편에 주사시 시료로부터 방출되는 이차전자나 후방산란전자 신호를 이용
① 시편의 표면형태를 관찰
② 특성 X선을 EDX를 통해 시편의
성분을 정성 및 정량적으로 분석
1. 원리
원리 원리 원리
1) 시편상에 일정한 거리에 있는 두점 : S1,S2
2) 분해능: 2개의 물체를 분간할수 있는 최단거리
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참고자료

· 없음