국민대 기계자동차공학실험2_레이저 간섭

소개

국민대 기계자동차공학실험2 레이저 간섭 실험입니다. 점수 잘나왔습니다.

목차

1. 레이저 간섭계의 종류와 차이점
(1) 레이저 간섭계의 종류
(2) 레이저 간섭계의 특징

2. Date sheet & Graph
(1) 측정값
(2) 변환값
(3) 각 측정점에서의 순방향 평균오차값
(4) 각 측정점에서의 역방향 평균오차값
(5) 각 측정점에서의 백래쉬값
(6) 양방향 평균오차
(7) 순방향 반복정밀도
(8) 역방향 반복정밀도
(9) 양방향 반복정밀도
(10) 정확도

3. 고찰

본문내용

1. 레이저 간섭계의 종류와 특징

(1) 레이저 간섭계의 종류

백생광 주사 간섭계
- 가시광을 구성하고 있는 개개의 파장의 간섭에 의한 중첩 현상을 이용하는 측정법으로서 높이 측정에 제한을 받지 않는다는 것이 장점입니다. 이론적으로는 수 nm에서 수 mm까지 측정할 수 있으며, 높이측정 분해능이 대물렌즈의 배율에 영향을 받지 않습니다. 단, 광위상 간섭계에 비해 측정속도가 느리다는 단점이 있습니다.
모아레 간섭계
- 격자 간 간섭을 이용한 측정법으로써 측정속도가 빠르고(수백 msec), 넓은 범위를 측정할 수 있으나 사용하는 격자에 따라 높이 분해능에 좋지 않는 경우가 많아서 일반 전자소자 또는 PCB 산업에서 많이 사용됩니다.
광위상 간섭계
- 단색광을 이용하며, 분해능이 높고(0.1nm 이하), 측정속도(수 sec)가 빠르기 때문에 널리 활용되고 있다. 그러나 인접화소에 결상되는 측정점의 높이 차가 광원 파장의 1/4 이하여야 정확한 높이측정이 가능하므로 측정할 수 있는 대상 sample에 제약을 받는다.
머-게리케의 평행판
- 유리 또는 수정의 얇은 평행평면 판의 한 끝에 직각 프리즘을 붙인 것입니다. 프리즘에 빛을 입사시키면 전반사에 의해 빛이 전부 평행평면판 속으로 들어가, 위아래의 표면에서 반사를 되풀이하며 앞으로 나갑니다. 반사 할 때마다 일부의 빛은 투과하는데, 그 투과광을 렌즈로 모으면 빛의 파장 ·각도에 따라 간섭을 일으켜 명암의 무늬가 생깁니다. 실제로 사용할 때는 분광기와 조합해서 사용하며 105 정도의 분해능을 얻을 수 있습니다.
피조-로망 표면 간섭계
- 단색광이 작은 구멍을 통과하여 기준면과 그 밑에 있는 작업소재를 비춥니다. 이때의 광속은 작업소재와 수직을 이루는데, 작업소재면과 기준면이 조금 기울어지도록 하면 위에 있는 반사장치를 통해 두께가 일정한 줄무늬가 생기는 것을 볼 수 있습니다.

참고자료

· 없음