기계공학실험 초음파센서를 이용한 거리측정

소개

기계공학실험

목차

1. 초음파를 이용한 계측장비 및 그 원리
2. 초음파를 이용한 내부결함 측정 원리 조사(비파괴 검사)

본문내용

<광학의 원리>
WT-CHR의 광학 설정은 공초점 법을 이용하여 확장된 Z축으로 설정된다. Z축의 스펙트럼 코딩으로 Z축을 확장할 수 있다.
모든 포인트가 동시에 그려내는 보편적인 현미경 검사법과 달리, 공초점 검사는 한번에 한 포인트만 그려낸다. 이 뷰는 (x, y)스캐닝으로 재구성된다. 공초점 검사는 이중 공간 필터링으로된 일반적인 검사법으로 얻어질 수 있다. 첫 번째 필터는 주어진 위치에, 필드의 한 포인트를 방사하게 한다; 두 번째 필터는 물체에서 되돌아오는 빛이 감지기에 도달하도록 한다.
이러한 구성은 Fig 1a에 나타나듯이, 대물렌즈 L로 만들어진 점광원 (포인트소스) S는 검사물의 포인트 M에 위치한다. 반사되는 빛은 광학렌즈 L를 통하여 다시 돌아온 다음, Beam Splitter(빔 분열기)에 의해 감지기로 곧바로 간다. L로 만들어진 M의 이미지에 위치한 그림 P는 광학 축에 위치한 M주위의 위/아래 포인트 즉 M을 제외한 모든 포인트에서 나오는 빛을 멈추게 하는 중요한 역할을 한다.
(Fig 1b) (x, y)스캐닝이 공초점 구성에 추가되었을 때, 이 영역의 외부에 존재하는 외부포인트의 방해없이 대물렌즈의 L의 정확한 거리에 위치한 이미지를 얻을 수 있다. 이 영역을 “광학 절편(Optical Sectioning)”이라고 부르며, 이것은 공초점 검사의 주요한 이점이다. 또 다른 추가적인 이점은 축의 분해능에 있다. 일반적인 검사법으로 얻어지는 분해능의 30%이상 더 정교한 분해능을 보인다.      
               
샘플의 마이크로-토포그라피(microtopography)는 샘플의 표면에서 각 포인트의 높이(Z좌표)를 측정함으로써 그려진다. 이것은 동적 초점 맞추기(dynsmic focusing) 방법으로 얻어지거나, 혹은 Z축을 따라 이동함으로써 얻을 수 있다.

참고자료

· 없음