ITO 박막의 제조에 따른 공정Factor 영향 분석

소개

ITO 박막의 제조에 따른 공정Factor 영향 분석

목차

1. ITO 광특성
2. ITO Etching 특성
3. ITO의 결정구조
4. ITO 저항특성
5. ITO 막두께에 따른 Roughness Data

본문내용

ITO 광특성
1.ITO는 굴절율 2.05, 흡수계수 0.01을 가진 물질임 (Bulk 상태). 그러나 박막상태가 될 경우 만드는
조건에 따라서 광특성 또한 틀려진다. 여기서는 우리라인의 고온 Sputtering 코팅에서 만들어 지는
ITO막 위주로 설명한다.

2. Glass 위에 ITO 박막이 형성될 경우 빛의 파장에 따라 빛의 보강 상쇄 간섭이 반복적으로 일어나
게 된다. 따라서 보강 상쇄에 따라 빛의 투과 반사율의 차이가 발생하게 된다. 굴절율 이 작은 곳에
서 큰 곳으로 가게 되면 180도 위상차가 발생되어서 상쇄간섭부터 시작하게 되며(반사율 감소)
이와 반대로 굴절율이 큰 곳에서 작은 곳으로 가면 보강간섭(반사율 증가)부터 시작하게 된다.
Glass위에 SiO2를 입힐 경우 SiO2쪽으로 부터 들어오는 빛은 상쇄간섭을 하게 되어 반사율 감소
를 일으키게 된다. 반사율 감소는 이경우(흡수가 없는 경우) 투과율 증가로 이어지게 된다 Glass위
에 SiO2 저굴절율 막을 입힐 경우 투과율이 증가하는 요인이 이 경우에 해당한다. 만약 Glass/
Nb2O5(n=2.3)/SiO2(n=1.46)/ITO(n=1.95)를 입힌다고 하면 보강(Nb2O5)/상쇄(SiO2)/보강(ITO)
가 발생하여 처음에 반사율 증가 -> 반사율 감소 -> 반사율 증가로 이루어 지는데 Glass 위에
ITO만을 입힐 경우보다 반사율 증가분이 적다. 따라서 투과율이 더욱 커지게 되는데 이것이 고투
과 ITO 제품을 만드는 방법이 된다.

참고자료

· 없음