ZnO CNT 소자 제작 LED 리소그래피 실험

소개

ZnO CNT 소자 제작 LED 리소그래피 실험
논문 형식으로 제출된 보고서 입니다.
논문 및 책 첨부 내용까지 부분부분 기술되어 있습니다.

목차

제 1 장 서론

제 2 장 LED
2.1 LED란 무엇인가?
2.2 LED의 재료
2.3 LED의 구조
2.4 LED의 응용

제 3 장 Photo lithography
3.1 Lithography의 종류
3.2 포토리소 그래피
3.2.1 포토리소 그래피의 이론
3.2.1 포토리소그래피를 이용한 실험방법

제 4 장 ZnO nano-wire
4.1 ZnO 특성
4.1.1 ZnO의 구조
4.1.2 ZnO의 전기적 특성
4.2 ZnO nanowire
4.2.1 nanowire
4.2.2 ZnO nanowire의 중요성
4.2.3 ZnO 나노와이어 제작
4.2.4 소자 제작과정

제 5 장 CNT (carbon nanotube, 탄소나노튜브)
5.1 탄소나노튜브의 발견
5.2 탄소나노튜브의 특성 및 구조
5.2.1 탄소나노튜브의 특성
5.2.2 탄소나노튜브의 구조
5.2.3 탄소나노튜브의 결합구조
5.3 열화학기상증착법(Thermal CVD)에 의한 탄소나노튜브의 합성
5.4 CNT 제작
제 6 장 AFM
6.1 이론적 배경
6.1.1 van der Waals forces(반데르발스힘)
6.1.2 AFM에 의한 측정 이론
6.2 접촉모드(contact mode)와 비접촉모드(non-contact mode)
6.2.1 접촉모드(contact mode)
6.2.2 비접촉모드(non-contact mode)

제 7 장 UV 램프
7.1 UV 램프 제작 의도
7.2 재료 스펙 및 종류
7.2.1 UV LED
7.2.2 SSR
7.2.3 Heat sink
7.2.4 PCB
7.3 제작 과정

8장 결론 및 요약
8.1 LED
8.2 Photo lithography
8.3 ZnO nanowire
8.4 CNT
8.5 AFM
8.6 UV 램프 제작

참고문헌

본문내용

제 1 장 서론
21세기 초에 들어선 지금 전 세계의 과학기술계는 IT(information technology), BT(bio technology), NT(nano technology)에 수많은 관심과 연구를 진행하고 있다. 20세기 초 미국의 노벨 물리학상 수상자인 파인만 교수(Richard Phillips Feynman ,1918)가 나노기술에 대해 암시했을 때만 하더라도 실제로 나노미터 수준의 물질을 조작하고 생성 또는 제어할 수 있으리라고는 상상도 하지 못했을 것이다.
하지만 양자역학이론이 정립되어 물질의 미시적인 거동을 이론적으로 이해하게 되었고, 컴퓨터과학으로 물리, 화학, 생물, 공학 등 각 과학 분야가 발전함에 따라 실험적으로 조작할 수 있는 물질의 크기가 점차 작아져 20세기 중반 이후의 마이크로미터 영역에서 나노미터 영역으로 접어들게 되었다.
이에 아주대학교 물리학과는 타 대학 학부에서 접하기 용이하지 않은 CNT와 ZnO nanowire합성 및 소자 제작, LED Photo lithography system 제작을 통해 나노 물질에 대한 기본적인 이해와 실험을 습득하는데 목표를 가지고서 이번 수업을 진행하였다.

제 2 장 LED
2.1 LED란 무엇인가?
반도체에 전압을 가할 때 생기는 발광현상을 전기루미네선스[전기장발광]이라고 하며, 1932년 탄화규소 결정의 발광 관측에서 비롯되는데, 1923년에 비소화갈륨 p-n접합에서의 고발광 효율이 발견되면서부터 그 연구가 활발하게 진행되었다. 1960년대 말에는 이들이 실용화되기에 이르렀다. 이렇게 해서 나오게 된 것이 LED(Light Emitting Diode, 발광 다이오드)이다.

LED는 반도체로 이루어져 있기 때문에 고체 소자의 형상을 하고 있다. LED는 전구 등의 다른 열변환 발광소자에 비해 안정적이고 신뢰성이 있으며, 그 수명도 연속 통전 상태에서 10만 시간 이상으로 길다. LED는 다이오드의 일종이므로 소자 하나를 구동하는데 전압과 전류가 낮은 편이다. 보통 반도체소자와 마찬가지로 LED 소자 그 자체는 칩(chip)이라 불리고, 그 사이즈는 보통 수백 로 매우 작다.

참고자료

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· 위키피디아(http://ko.wikipedia.org/wiki/LED)
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· 수업자료 , 나노공정실험 - 3[1]. 광긱각법(2).pdf 6-7
· 김영삼, 자외선 발광및 수광소자용 박막의 후열처리 특성에 관한 연구, 광주과학기술원, p.4, (2004)
· 김영삼, 자외선 발광및 수광소자용 박막의 후열처리 특성에 관한 연구, 광주과학기술원, p.4~5, (2004)
· 홍재민;이혁재[공저], ZnO 나노와이어의 합성과 디바이스 으용, 한국과학기술정보 연구원, p.3 (2005)
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· 김진희, 탄소나노튜브 응용 광 및 전자소자 개발, 산업자원부, pp.33-34
· 김진희, 탄소나노튜브 응용 광 및 전자소자 개발, 산업자원부, pp.36-38
· 조현진, 열화학기상층착 탄소나노튜브의 성장에 미치는 가스조성의 영향과 전계방출 특성, 세종대대학원 pp.8-9 (2007)
· 김연주, plasma 처리한 유기 전연층을 갖는 유기 박막 트랜지스터의 전기적 특성 연구, 홍익대 대학원 pp.40-44(2004)