정전기(ESD)관련 Training 자료

소개

일상 또는 공정에서 발생하는 정전기의 기본 이해와 방지 대책 등을 소개한 자료입니다.

목차

1. ESD(정전기)의 실체
2. ESD의 모형
3. ESD를 어떻게 방지할 것인가?
4. ESD방지도구
5. 공정별 정전기 대책

본문내용

1.ESD(정전기)의 실체

1-1 ESD(Electronic ststic discharge,정전기) 개요

1)ESD란?
전기중 흐르지 않고 정지된 전기가 정전기이다.
정전기는 양전하나 음전하가 한 곳에 몰려 있는 전기이다.
정전기는 부도체가 전자를 잃거나 얻음으로 대전될 때 부도체 표면에 생긴다.
정전기는 주로 두 물체간 마찰이 발생하면 한 물체는 Positive(양)의 전하가, 다른 한 물체는 Negative(음)의 전하를 띠게 된다.
양,음의 전하를 띠게되는 물체는 방전(放電)하여 중성화(中性化) 하려는 성질이 있어 저항이 가장 적은쪽으로 Ground를 형성하여 급속한 방전을
실시한다. 이때 급속한 방전으로 급전류(궁극적으로 전력)가 흐르게 되고, 이 전력은 열(熱)로 나타난다. 이 뜨거운 열이 IC 내부의 배선인 Al(
알루미늄)을 녹이고, 층간 절연막인 SiO2를 파괴시켜 IC를 못 쓰게 만든다.

초등학교때 책받침으로 머리카락을 문지르면 머리카락이 쭈삣하는데 이런 현상이 마찰에 의한 정전기이다.머리털은 양(+)로 책받침은 음(-)으로
대전되기 때문임. 머리카락이 쭈삣하는 이유는 양의 전하가 머리카락을 통해 책받침으로 방전을 시도하기 때문이고 책받침이 쭈삣할 수 없으니까
머리카락이 쭈삣거린다.
겨울에 속내의를 갈아 있을때 몸이 따끔거리고 불꽃이 튀는 현상, 차문에 Key를 꼽을때 깜짝 놀라는 경우 몽땅 “정전기현상”이라고 이해하면 된다.

2)마찰대전 물질

참고자료

· 없음