기계공작법 프로젝트(집속이온빔)

소개

기계공작법 텀프로젝트 보고서입니다.

주제는 집속이온빔에 관한 내용입니다.

목차

Ⅰ.주제선정 동기
Ⅱ.집속이온빔의 원리와 특징
Ⅲ. FIB 가공기술의 예
Ⅳ. 최신기술동향
Ⅴ. 공작기계
Ⅵ. 향후발전방향 및 소감
Ⅶ. 참고 및 관련사이트

본문내용

Ⅱ.집속이온빔의 원리와 특징

1) 원리

끝부분의 예리한 금속첨단부분과 접촉되는 전극사이에 전계를 걸어 하전입자를 끌어낸다. 이 하전입자는 가속전원에 의한 전압을 가속시켜 시료에 충돌한다. 이온의 경우는 예리한 금속첨단부분에 액체금속갈륨을 흐르게 하고 전계의 힘으로 이를 방사시킨다 이 때 가해지는 전압은 보통 5kV에서 30kV이다 가속전압이 높으면 빔을 가늘게 만들 수 있다. 그러나 동시에 시료에 대한 대미지가 크기 때문에 보통은 30kV가 적절한 가공전압으로 이용하고 있다. FIB장치가 갈륨이온빔을 시료표면에 조사하면 2차 전자가 발생한다. 또한 갈륨이온은 전자보다 무겁기 때문에 시료를 구성하는 원자를 튕겨내는 스퍼터링(sputtering)현상이 발생한다. 이 원자는 2차 이온이 되어 시료에서 떨어져 날아간다. 2차 이온을 센서로 검출하고 2차원분포를 구하여 시료표면의 현미경상을 관찰할 수 있고, 스퍼터링 현상을 가공에 응용한다.




Ⅵ. 향후발전방향 및 소감
향후발전방향
- 집속이온빔가공은 앞으로 그 미래가 밝을 것으로 생각한다. 이 기술은 새로나온 신기술이 아니라 예전부터 있었던 기술이었는데 주로 반도체 가공과 기계가공에 많이 쓰였지만 근래에 나노기술이 발전하면서 다시 주목을 받고 있다. 3차원 나노구조의 형성, 복잡한 미세가공, 나노사이즈의 미세입자 가공, 현미경시료 마무리가공, 반도체 배선 수정가공, 마이크로 정밀금형가공 등 실로 많은 분야에서 다양하게

참고자료

· Ⅶ. 참고 및 관련사이트
· - http://fibics.com/MS_FIBApplications.html
· - http://www.almaden.ibm.com/st/scientific_services/materials_analysis/ib_surface/
· - http://media.daum.net/society/nation/others/view.html?cateid=100011&newsid=20060928160510337&p=newsis/ 뉴스기사
· - http://www.koami.or.kr/ 기계산업진흥회
· - http://www.nmrc.re.kr/ 나노생산기술연구센터
· - http://radar.ndsl.kr/ NDSL 과학기술정보통합서비스
· - http://infranet.or.kr/ 산업기술기반조성사업 인프라넷
· - http://www.ftlab.kr/ (주)에프티랩: 집속이온빔 제조회사
· - http://www.kisti.re.kr/KISTI/index.jsp /한국과학기술정보연구원