FTS를 이용한 ITO증착 실험 보고서

소개

FTS를 이용한 ITO증착 실험 보고서입니다.

목차

1. 실 습 목 적
2. 실 험 과 정
3. 결 과 및 고 찰
4. 결 론

본문내용

1. 실 습 목 적

① FTS를 이용하여 ITO를 증착 할 수 있다.
② XRD, Hall Measurement 장비등을 사용하여 증착 된 ITO의 물리적, 전기적 성질 등을 측정 할 수 있다.
③ 분석을 통하여 ITO와 FTS 장비에 대해 이해 할 수 있다.

주파수의 증가에 따라서 홀농도가 감소하므로 이에 따라서 홀계수도 감소함을 알 수 있다. 즉 홀계수는 주파수 변화에 따른 캐리어농도의 변화에 따라서 함께 변화하게 된다. 그림6은 주파수의 변화에 따른 이동도의 변화이다. 이동도는 주파수가 10khz, 20khz일때 32cm2V-1s-1의 값을 보이고 있으며 30khz일때 가장 낮은 값인 23.632cm2V-1s-1의 값을 나타내고 있다. 40khz일때와 50khz일때는 26.532cm2V-1s-1의 값을 보이고 있다. 이동도는 전기전도도와 홀계수의 곱이다. 홀계수는 이동도를 통하여 전기전도도를 예측해볼 수 있다. 우선 이동도가 가장 높은 10khz와 20khz를 비교해보면 10khz의 홀계수가 20khz의 홀계수보다 절대값에서 작지만 이동도에서는 비슷한 수치를 보이므로 10khz에서 증착된 ITO박막이 전도도가 더 좋다는 것을 알 수 있다. 같은 맥락에서 40khz와 50khz에서의 이동도를 비교해보면 40khz에서의 홀계수가 절대값에서 50khz보다 작기 때문에 40khz의 전기전도도가 더 좋다는 것을 알 수 있다. 즉, 주파수의 증가에 따라서 전기전도도가 감소한다는 것을 예측할 수 있다.
그림7은 주파수의 변화에 따른 캐리어의 농도를 나타낸다. 캐리어의 농도는 주파수를 인가하지 않았을때 가장 높은 수치인 1.224×1021의 값을 나타냈고 주파수를 인가했을 때는 10khz에서 가장 높은 값인 9.4×1020를 50khz일때 4×1020으로 최저값을 보였다.

4. 결 론

우리는 frequency를 변수로 하여 FTS를 사용하여 ITO박막을 증착하고, 그에 대한 물리적, 광학적, 전기적 특성에 대해 분석하였다.
10khz의 주파수가 인가되었을때 2.125×10-4Ω․cm의 가장 낮은 비저항값을 나타내었으며 면저항에서도 12.23Ω/sq의 가장 낮은 면저항값을 보였다. 광학적 특성의 분석결과 가시광선 영역에서 80~90%사이의 높은 투명도를 나타내었고 가장 높은 홀계수, 이동도, 캐리어농도를 나타내었다. 또한 이동도를 통해 예측한 전기전도도에서 가장 높은 전기전도도를 보여주었다. 예비 보고서를 위해 조사할 때Bipolar Pulsed DC에서 각 주파수에 따른 플라즈마 현상에 대한 논문을 찾았던 적이 있었다.

참고자료

· 없음