OLED의 장수명을 위한 봉지 층으로서의 (SiO2)1-x(ZnO)x 단층 박막의 수분 투과 특성

서지정보

· 발행기관 : 한국물리학회
· 수록지 정보 : 새물리 / 55권 / 5호 / 332 ~ 335페이지
· 저자명 : 고현규, 김화민, 권오정, 김용기, 김종재, 박승환, 양정민, 이병로, 홍우표

초록

OLED 의 봉지 (passivation) 층과 플라스틱 기판의 gas barrier
층으로서의 가능성을 조사하기 위하여 성분비가 다른 복합무기 산화물
박막, (SiO$_2$)$_{1-x}$(ZnO)$_x$ $x$ = 0.6, 0.7, 0.8 at.\%박막들을
rf-마그네트론 스퍼터링 방법을 사용하여 PEN 기판 위에 상온
증착하였으며, 이들 박막들의 수분투과율 (WVTR : Water Vapor
Transmission Rate), 광 투과도, 박막의 치밀도 (packing density) 등이
Mocon test와 광 투과 스펙트럼 그리고 원자 현미경 (AFM) 상에 의해
분석 되었다. (SiO$_2$)$_{1-x}$(ZnO)$_x$ 박막의 수분 투과율은 ZnO성분
($x$) 이 증가할수록 크게 감소하는 반면, 광투과율은 감소하는 경향을
나타내었다. 따라서 수분 투과율과 광 투과도를 모두 고려할 경우, $x$ =
0.7 at.\%의 SZO 박막이 OLED의 봉지 층과 플라스틱 기판의 gas barrier
층으로서 가장 적합한 것으로 나타났다. (SiO$_2$)$_{0.3}$(ZnO)$_{0.7}$
단층 박막의 경우, 수분투과율 (WVTR)은 Mocon test의 한계 값인
$\sim$10$^{-3}$ g/m$^2$ $\cdot$ day를 나타냈으며, 광 투과도는
가시광 영역에서 평균 $\sim$80 \% 이상의 우수한 특성을 나타내는 것이
확인되었다. 특히, 본 실험을 통해서 무기 복합 산화물 박막의
수분투과율에 가장 큰 영향을 주는 주요 인자는 박막의 극성
(polarizability)과 치밀도 (packing density)임을 알 수 있었다.

참고자료

· 없음