-
미리보기
서지정보
· 발행기관 : 한국물리학회
· 수록지 정보 : 새물리 / 52권 / 1호 / 45 ~ 49페이지
· 저자명 : 이규현, 윤종환
초록
본 연구에서는 다량의 아르곤 ($Ar$)으로 희석된 사일렌 ($SiH_4$)
가스를 사용하여 플라즈마 화학 기상 증착 (PECVD)에 의해 미세결정질
실리콘 박막을 제조하였으며, 증착시간에 따른 박막의 물성을
광루미네슨스, 암전기전도도, Raman 및 투과전자현미경 (TEM)을
이용하여 연구하였다. 증착시간이 증가 할수록 결정질 상에 의한
물리적 특성이 우세하게 나타나는 거동들이 관측되었다. 활성화
에너지의 감소, 0.9 eV 근처의 광루미네슨스의 증가 및 520
${cm}^{-1}$ 근처의 Raman 세기의 증가. 또한 단면 TEM 측정 결과
결정질 상은 역 원뿔 형태로 성장하는 거동을 나타내었다. 증착시간의
증가에 따른 박막의 물리적 특성 변화는 결정질 상이 역 원뿔 형태로
성장함에 따라 박막내의 결정질상의 체적 비율이 높아지기 때문으로
이해된다.참고자료
· 없음태그
-
자주묻는질문의 답변을 확인해 주세요
꼭 알아주세요
-
자료의 정보 및 내용의 진실성에 대하여 해피캠퍼스는 보증하지 않으며, 해당 정보 및 게시물 저작권과 기타 법적 책임은 자료 등록자에게 있습니다.
자료 및 게시물 내용의 불법적 이용, 무단 전재∙배포는 금지되어 있습니다.
저작권침해, 명예훼손 등 분쟁 요소 발견 시 고객센터의 저작권침해 신고센터를 이용해 주시기 바랍니다. -
해피캠퍼스는 구매자와 판매자 모두가 만족하는 서비스가 되도록 노력하고 있으며, 아래의 4가지 자료환불 조건을 꼭 확인해주시기 바랍니다.
파일오류 중복자료 저작권 없음 설명과 실제 내용 불일치 파일의 다운로드가 제대로 되지 않거나 파일형식에 맞는 프로그램으로 정상 작동하지 않는 경우 다른 자료와 70% 이상 내용이 일치하는 경우 (중복임을 확인할 수 있는 근거 필요함) 인터넷의 다른 사이트, 연구기관, 학교, 서적 등의 자료를 도용한 경우 자료의 설명과 실제 자료의 내용이 일치하지 않는 경우
“새물리”의 다른 논문도 확인해 보세요!
-
금속이온을 첨가한 TiO2 나노입자의 열처리 온도에 따른 상전이 연구
5 페이지
Reverse micelle 방법과 Solvothermal 방법을 이용하여 순수한 TiO$_2$와 금속이온을 첨가한 TiO$_2$를 합성하였다. 첨가한 금속이온은 Mn, Co, Ni, Fe, Cr, Pb, Eu, Tb 이며, 농도는 2 \%이다. XRD, SEM, TEM을 이용하여 이들의 구조, 표면 형태, 상전이를 조사하였다. 첨가한 Mn, Co 이온은 .. -
졸-겔 방법을 이용한 LiMn2O4 및 LiTxMn2-xO4 (T = Fe, Ni) 박막 제작 및 그 구조적, 광학적 특성
6 페이지
졸-겔 (sol-gel) 방법을 이용하여 스피넬 (spinel) 구조를 가지는 LiMn$_2$O$_4$, LiNi$_x$Mn$_{2-x}$O$_4$, LiFe$_x$\\Mn$_{2-x}$O$_4$ 박막들을 Si(111) 및 Al$_2$O$_3$(0001) 기판 위에 성장시켰다. 박막들의 스핀코팅을 위한 선구 (precursor) 용액에서 Li : Mn 비율..
-
광생성 반응에서 이종 강입자 펜타쿼크 세타의 패리티
11 페이지
펜타쿼크 세타입자의 패리티를 조사하기 위하여 강입자 모형으로 세타 광생성 반응 $\gamma N\to K \Theta^+$에 대한 단면적을 계산하였다. 모형 계산에서 세타입자의 패리티를 각각 양수와 음수일 때로 가정하고 캐온-핵자-세타 ($KN\Theta$) 강작용 결합에 대해서는 수도스칼라 (PS)와 수도벡터 (PV) 두 가지 형식을 모두 적용하였다. 강..
문서 초안을 생성해주는 EasyAI
