열수용액 법으로 성장된 ZnO 나노 막대의 구조적 특성에 nucleation layer의 증착 온도가 미치는 효과 (Effect of Deposition Temperature of the Nucleation Layer on the Structure of ZnO Nanorod Arrays Grown by Using a Hydrothermal Method)

서지정보

· 발행기관 : 한국물리학회
· 수록지 정보 : 새물리 / 57권 / 6호 / 422 ~ 426페이지
· 저자명 : 박세정, 하유진, 황윤회, 김형국, 남궁완, 추지준, 김철환, 조진형

초록

본 연구에서는 Pt (111)/TiO$_2$/SiO$_2$/Si (100) 기판에 증착 온도를
변화 (100, 300, 600 $^\circ$C)시키면서 ZnO nucleation layer를 펄스
레이저 증착법으로 먼저 증착한 다음 열수용액 방법을 이용하여 ZnO 나노
막대를 제작하였다. 증착 온도가 높을수록 $c$방향 정렬도를 가진 ZnO
nucleation layer의 두께와 그레인의 크기 및 표면의 거칠기가
증가하였다. 열수용액 법을 이용하여 ZnO 나노 막대를 제작하였을 때,
nucleation layer 표면의 거칠기가 적을수록 뭉침 현상이 일어나 지름이
큰 ZnO 나노 막대가 제작되었다. 그러나 nucleation layer 표면의
거칠기가 클수록 지름이 작은 ZnO 나노 막대가 형성되었다.

영어초록

The effect of deposition temperature of the nucleation layer on the
structure of ZnO nanorod arrays was studied. The ZnO nucleation
layer was deposited on a Pt (111)/TiO$_2$/SiO$_2$/Si substrate at
different temperatures by using a pulsed laser deposition method;
then, ZnO nanorods were fabricated on top of the nucleation layer by
using a hydrothermal method. We found from an X-ray experiment that
the direction of the deposited ZnO nucleation layer was the [002]
direction. We also found that the thickness and the surface
roughness of the nucleation layer increased as the deposition
temperature increased. The radius of the ZnO nanorod arrays depended
inversely on the roughness of the seed layer; i.e., the radius of
the ZnO nanorod was bigger when the roughness of the nucleation
layer was smaller.

참고자료

· 없음