새 구조의 액정 엑스선 감지기 (A New X-Ray Image Sensor Utilizing a Liquid Crystal Panel)

서지정보

· 발행기관 : 한국광학회
· 수록지 정보 : 한국광학회지 / 19권 / 4호 / 249 ~ 254페이지
· 저자명 : 노봉규

초록

반사형 액정 모드를 쓰는 새 구조의 액정 엑스선 감지기를 만들고, 이를 시험하고자 인쇄회로기판(Printed Circuit Board: PCB)의 영상을 얻었다. 과거의 액정 엑스선 감지기는 유리판에 광전도층을 입히고, 그 위에 액정층을 올리므로, 액정이 광전도층과 바로 닿아 있었다. 새 구조의 액정 엑스선 감지기에서는 액정판을 먼저 만들고 유리판을 연마하여 두께 약 60 μm 정도로 줄인 다음, 그 위에 파장 630 nm인 빛을 반사시키는 유전체 반사판과 비정질 셀레늄 광전도층 그리고 전극을 연속하여 입혔다. 새 구조의 장점은 첫째 넓이가 큰 판으로 만들기 쉽고, 둘째 반사형 액정판의 반사도 곡선의 기울기가 가파르므로 감도가 좋아 다른 엑스선 감지기와 비교할 때 20% 이하의 조사선량으로 선명한 영상을 얻을 수 있으며, 셋째 CCD를 함께 써서 실시간 동영상을 쉽게 얻을 수 있다. 이 논문에서는 이 새 액정 엑스선 감지 감지기의 구조와 특성을 설명한다.

영어초록

We developed a new x-ray image sensor utilizing a reflection-mode liquid crystal panel as its sensitive element, and tested its functionality by using it to obtain an x-ray image of a printed circuit board. In the liquid crystal x-ray image sensors hitherto reported, the liquid crystal layer is in direct contact with the photoconductive film which is deposited on a glass substrate. In the fabrication of the new x-ray image sensor, a liquid crystal panel is fabricated in the first step by using a pair of glass plates of a few centimeters thicknrss. Then one of the glass substrates is ground until its thickness is reduced to about 60 μm. After polishing the glass plate, dielectric films for high reflectance at 630 nm, a film of amorphous selenium for photoconduction, and a transparent conductive film for electrode are deposited in sequence. The new x-ray image sensor has several merits: primarily, fabrication of a large area sensor is more easily compared with the old fashioned x-ray image sensors. Since the reflection type liquid crystal panel has a very steep response curve, the new x-ray sensor has much more sensitivity to x-rays compared with the conventional x-ray area sensor, and the radiation dosage can be reduced down to less then 20%. By combining the new x-ray sensor with CCD camera technology, real-time x-ray images can be easily captured. We report the structure, fabrication process and characteristics of the new x-ray image sensor.

참고자료

· 없음