전자빔 조사에 의한 V_2(O_5) 박막의 구조적 광학적 특성연구 (Study on the Structural and the Optical Properties of V_2(O_5) Thin Films by Electron Beam Irradiation)

서지정보

· 발행기관 : 한국물리학회
· 수록지 정보 : 새물리 / 61권 / 11호 / 1064 ~ 1068페이지
· 저자명 : 추민우, 강만일, 김석원, 류지욱

초록

전자빔 조사선량에 따른 V_2(O_5) 박막의 구조적, 광학적 특성변화를알아보기 위해 RF 스퍼터링 방법으로 비정질 V_2(O_5) 박막을제작하였다. XRD, SEM, Raman 스펙트럼의 측정결과, 600 kGy에서α-V_2(O_5)로 결정화되었고, 1200 kGy에서는 나노로드로성장되었다. 이러한 결정구조의 변화는 전자빔 조사에 의한 발열 효과때문으로 해석되었다. 투과율과 광발광 (PL; photoluminescence) 측정을통한 광학적 특성의 조사결과 박막이 결정화됨에 따라 광흡수 특성은향상되었으며 특히 1200 kGy에서는 나노로드(nano-rod) 성장에 의한박막표면에서의 강한산란에 의해 완만한 투과율의 감소와 PL 강도의감소를 보였다.

영어초록

In order to examine changes in the structural and the optical properties of V_2(O_5) thin films caused by electron beam irradiation at different dose rates, we grew amorphous films by RF sputtering. From the XRD, SEM, and Raman spectrum measurements, at 600 kGy, the amorphus V_2(O_5) film was crystallized to α-V_2(O_5), and grew as nano-rods at 1200 kGy. This result is interpreted as being due to an exothermic effect caused by the electron beam irradiation. Measurements of the PL and transmittance were carried out to investigate the optical properties. The results showed that the absorption was enhanced by crystallization of the films, and the transmittance and the PL intensity were reduced due to strong surface scattering caused by the growth of the nano-rods.

참고자료

· 없음