반도체 FAB 공정과 Probe 공정 간 자재 이동 계획: 수요 지연 최소화를 중심으로 (Material Transfer Planning between Semiconductor Fab and Probe Facility with Respect to Minimizing Demand Tardiness)

서지정보

· 발행기관 : 사단법인 한국융합기술연구학회
· 수록지 정보 : 아시아태평양융합연구교류논문지 / 11권 / 2호 / 461 ~ 470페이지
· 저자명 : 차영호, 방준영

초록

본 연구에서는 반도체 웨이퍼 제조 공정에서 프로브 시설로의 웨이퍼 롯트 이동 및 출시 계획 문제를 다루며, 작업 부하의 불균형과 고객 주문의 총 지연을 최소화하는 것을 목표로 한다. 문제의 복잡성을 고려하여, 두 개의 병렬 시설 간 롯트 이동 문제를 해결하기 위한 2단계 계층적 생산 계획 방법을 제안한다. 상위 단계에서는 단순화된 수학적 모델을 통해 일일 단위로 구성된 초기 롯트 이동 및 출시 계획을 수립한다. 하위 단계에서는 이산 사건 시뮬레이션을 활용하여 우선순위 규칙 기반의 스케줄링 방법으로 기계 수준의 세부 처리 일정을 생성하고, 동시에 초기 계획을 평가하고 개선한다. 제안된 계획 방법의 성능을 평가하기 위해 실제 데이터를 기반으로 한 문제들과 다양한 수요 변동 수준을 추가한 테스트 시나리오에서 계산 실험을 수행하였다. 실험 결과, 제안된 계획 구조는 실제 공장에서 실행 가능한 효율적인 일정을 허용 가능한 계산 시간 내에 생성할 수 있음을 확인하였다.

영어초록

The problem of wafer lot transfer and release planning from semiconductor fabrication facilities to probe facilities is addressed to minimize workload imbalance and overall tardiness in customer orders. To tackle the complexity of this issue, a two-level hierarchical production planning approach is proposed for transferring lots between two parallel facilities. At the higher level, a simplified mathematical model is solved using the CPLEX solution to create an initial lot transfer and release plan structured in daily time buckets. At the lower level, discrete-event simulation generates detailed machine-level processing schedules based on priority-rule scheduling methods while refining and evaluating the initial plan. Decisions on which probe facility should process each wafer lot are made based on production information, such as the workload of the probe facilities and the lot completion times at the fabrication facilities. Computational experiments are performed to evaluate the performance of the proposed planning method compared to those used in actual production systems. The experiments are conducted using real-world data and additional test scenarios incorporating varying levels of demand fluctuations to assess the effectiveness of the proposed approach. The results demonstrate that the proposed planning framework can generate feasible and efficient schedules within practical computational times suitable for application in factory settings.

참고자료

· 없음