TRIZ를 활용한 반도체 패키지 주석 조각의 문제 개선 (Improving the Semiconductor Package Tin-flake Problem Using TRIZ)

서지정보

· 발행기관 : 사단법인 한국융합기술연구학회
· 수록지 정보 : 아시아태평양융합연구교류논문지 / 8권 / 1호 / 53 ~ 76페이지
· 저자명 : 오동석, 송용원

초록

반도체 제조 산업은 고객 니즈에 맞추어 제품을 공급하기 위하여 다양한 불량 감소 활동을 하고 있지만, 제조과정에서 제품 불량에 따른 문제가 여전히 많이 발생하고 있다. 현장은 그중 가장 많은 활동 중의 하나가 불량을 검사하고 이를 예방 하기 위한 예방정비(PM: Preventive maintenance) 활동이다. 실제 장비가 가동되는 동안 장비의 오염으로 인해 발생하는 문제가 많아 예방정비 외에도 불량에 의한 고장 정비(BM: Break Maintenance)도 많이 발생하고 있다. 현장은 이러한 문제들을 해결해 나가는 것이 핵심적인 활동이다. 본 논문에서 소개하고자 하는 내용은 많은 문제 중에서 반도체 제조 후공정 중 패키지 트림 폼 공정에서 Forming 중에 발생하는 주석 조각 문제를 다루고자 한다. 이 문제는 장비 오염뿐만 아니라 환경적인 문제를 동반하고 있지만, 근본적으로 해결되지 못하고 지금까지 세정이라는 단순한 조치로 시간적 손실이 많이 발생하고 있다. 이 문제는 성형 부품의 일부를 제거하고 다른 부분이 그 기능을 대신 수행할 수 있도록 하여 해결하였다. 본 논문에서는 이러한 문제를 해결하기 위하여 트리즈(TRIZ: Theory of Inventive Problem Solving의 러시아 발음에 약자) 알고리즘인 아리즈(ARIZ: Algorism for Inventive Problem Solving의 러시아 발음에 약자)에 따라 문제를 단계적으로 진행한 결과 주석 조각 문제를 해결하여 예방정비와 고장 정비 시간을 단축하여 생산성을 향상시킨 사례이다.

영어초록

The semiconductor manufacturing industry goes through variety of failure reduction activities to meet the customer needs, but there are a lot of problems that follow with a faulty product during the manufacturing process. One of the most frequent activities in the field is a preventive maintenance (PM) activity to inspect defects and prevent them. In addition to preventive maintenance, as there are many problems that occur due to contamination of equipment during actual equipment operation, break maintenance (BM) due to defects is also occurring. In the field, solving these problems is a key activity. This paper is focused on dealing with the tin fragmentation problem that occurs during forming in the package trim form process during the semiconductor manufacturing post process, among many problems. Although this problem is accompanied by environmental problems as well as equipment contamination, it has not been fundamentally solved, and a simple measure of cleaning has resulted in a lot of time loss. This problem was addressed by removing part of the molded part and allowing another part to perform its function. In this paper, in order to solve the issue, the problem was proceeded step by step according to the TRIZ (Russian pronunciation of Theory of Inventive Problem Solving) algorithm ARIZ (ARIZ: an abbreviation of the Russian pronunciation of Algorism for Inventive Problem Solving). This is a case of improving productivity by reducing the time for preventive maintenance and troubleshooting by solving the tin engraving problem.

참고자료

· 없음