무정형 또는 다결정성 규소를 위한 하이드로폴리실란의 합성과 물성 분석 (Synthesis and property analysis of hydropolysilanes for amorphous and polycrystalline silicon)

서지정보

· 발행기관 : 한국분석과학회
· 수록지 정보 : 분석과학 / 24권 / 2호 / 105 ~ 112페이지
· 저자명 : 안선아, 이규환, 이성환, 송영상

초록

태양전지용 박막 규소나 차세대 반도체용 박막트랜지스터의 원료로 사용 가능한 하이드로폴리실란의 합성과 물성 분석에 관한 연구이다. 이러한 하이드로폴리실란을 유기 치환기가 없는 사염화규소를 사용하여 합성한 것이 가장 큰 특징이며, 일반적으로 알칼리금속을 사용한 환원법으로 유기용매에 가용성인 하이드로폴리실란을 합성하는 최적 조건을 확립하고자 하였으며 하이드로폴리실란 용액은 그 물성을 여러 가지 분석 방법을 사용하여 조사하였으며 또한 열분해 실험을 통해 무정형 또는 다결정성 규소로 전환시킬 수 있음을 확인하였다.

영어초록

Syntheses and property analysis of hydropolysilanes were studied. Those hydropolysilanes can be utilized as precursors for amorphous silicon and polycrystallline silicon for the purpose of the solar cell and the thin film transister for the next generation's semiconductors. Most important characteristics of this study are to find optimized conditions for the synthesis and property analysis of soluble hydropolysilanes. Also the possibility of pyrolytic conversion to amorphous and polycrystalline silicon was investigated.

참고자료

· 없음