초음파 분무 열분해법에 의해 합성한 실리카 막의 기체 투과 특성

서지정보

· 발행기관 : 한국막학회
· 수록지 정보 : 멤브레인 / 15권 / 2호 / 105 ~ 113페이지
· 저자명 : 이규호, 서봉국, 윤민영, 박상진, 이동욱

초록

표면 개질한 다공성 금속 지지체에 초음파 분무 열분해법을 이용하여 silica막을 합성하고, 고온 기체 선택 투과 분리 특성을 조사하였다. Tetraethyl orthosilicate (TEOS)를 전구체로 하여 지지체 세공을 통한 감압 진공을 하면서 873 K에서 표면에 defect 없이 균일한 양질의 silica막이 형성되었다. 투과 온도 523 K에서 silica막의 수소/질소 및 수증기/메탄올 분리 계수가 각각 17 및 16 정도의 우수한 선택 투과 성능을 나타냈다. 다공성 금속 지지체의 불균일한 기공에 silica 분체 및 -alumina층을 중간층으로 도입하고, 그 위에 열분해법에 의한 silica를 합성한 결과, Knudsen 확산에 의한 투과 영역의 세공이 완전히 제거되어 높은 수소 및 수증기 선택성을 가지는 복합 막이 형성되었다.

참고자료

· 없음