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플라즈마 밀도 절대값 측정을 위한 컷오프 탐침 개발

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최초등록일 2025.04.26 최종저작일 2003.12
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플라즈마 밀도 절대값 측정을 위한 컷오프 탐침 개발
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    서지정보

    · 발행기관 : 한국물리학회
    · 수록지 정보 : 새물리 / 47권 / 6호 / 415 ~ 420페이지
    · 저자명 : 김정형, 신용현, 정광화, 최상철

    초록

    전자기파가 플라즈마를 진행할 때 플라즈마주파수에서 전자기파가 컷오프(cutoff)
    되는 현상을 이용하여 전자밀도의 절대값을 측정하는 방법을 개발했다. 이 측정
    방법은 네트워크 분석기(network analyzer)와 송수신 안테나로 구성되어 있다. 송신
    안테나에서 플라즈마를 통과해서 수신안테나로 검출되는 전자기파의 투과율을
    측정함으로써 플라즈마 주파수를 측정할 수 있다. 플라즈마 주파수를 직접적으로
    측정하기 때문에 플라즈마 밀도의 절대값을 측정할 수 있으며 구조가 탐침형태이기
    때문에 스캔하여 공간분포를 측정할 수 있다. 식각 또는 증착 등의 공정 플라즈마에서
    탐침이 오염되어도 전자기파 측정은 영향을 받지 않으므로 공정플라즈마에서도
    사용이 가능하다. 이 컷오프 방법에 대하여 이론적으로 분석하고 유도가열 플라즈마의
    밀도를 실험적으로 측정하여 랑뮈어 탐침(Langmuir probe), 플라즈마 진동
    탐침(plasma oscillation probe)과 플라즈마 흡수 탐침(plasma absorption probe)의
    측정결과와 비교하였다.

    참고자료

    · 없음
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