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나노 결정립 Fe-Al-O 산화막의 미세구조 변화에 따른 연자기적 특성 분석

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최초등록일 2025.04.26 최종저작일 2004.04
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나노 결정립 Fe-Al-O 산화막의 미세구조 변화에 따른 연자기적 특성 분석
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    서지정보

    · 발행기관 : 한국자기학회
    · 수록지 정보 : 한국자기학회지 / 14권 / 2호 / 59 ~ 64페이지
    · 저자명 : 김종오, 박범찬, 이영우, 문지현, 최용대

    초록

    나노 결정립 구조를 갖는 Fe-Al-O 연자성 산화막을 이온빔 에칭법으로 에칭하면서 연자기적 특성의 변화를 조사하였다. 두께가 감소할수록 보자력과 각형비가 증가하고 AFM 으로 조사한 표면굴곡도 증가하는 것으로 보아 결정립의 크기가 증가하는 것으로 판 단된다. 이러한 현상은 비정질을 열처리한 나노결정립 연자성 재료와 다르게 성막하는 과정의 온도 상승에 의한 결정성장이 원인으 로 판단된다. 따라서 우수한 연자성 박막을 제조하기 위해서는 두께 및 성막시간 등 최적 제조조건을 찾아야 한다. 마그네트론 스 퍼터링법으로 제조된 Fe-Al-O 산화막의 경우 900 nm 이상에서 보자력이 1 Oe 이하인 연자성 박막을 얻을 수 있었다.

    참고자료

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