비가간섭광을 이용한 내부전반사 홀로그래픽 리소그라피 (Total-internal-reflection Holographic Photo-lithography by Using Incoherent Light)

서지정보

· 발행기관 : 한국광학회
· 수록지 정보 : 한국광학회지 / 20권 / 6호 / 334 ~ 338페이지
· 저자명 : 이준섭, 박우제, 이지환, 송석호, 이성진

초록

최근 디스플레이 기기의 수요가 증대되면서 대면적 노광에 대한 요구가 증대되고 있는데, 내부전반사(total internal reflection:
TIR)홀로그래픽 리소그라피는 대면적 노광을 위한 효과적인 방법으로 연구가 진행되고 있다. TIR 홀로그래피에서는 일반적으로
레이저를 이용하여 영상을 기록하고 재생한다. 그러나 자외선 램프와 같은 비가간섭광을 이용하여 재생한다면, 가간섭성에 의해
나타나는 영상잡음을 줄일 수 있고, 대면적 노광에도 보다 용이할 것이다. TIR 홀로그램의 재생을 위하여 자외선 램프를 이용할
때, 램프의 유한한 선폭과 확산각이 재생 영상에 미치는 영향을 분석하고, 재생패턴에 나타나는 선폭 확대 결과를 실험을 통하여
검증하였다. ㎛ 규모의 선폭을 갖는 대면적 패턴을 TIR 홀로그램으로부터 얻기 위한 재생 광원으로, 가간섭성 광원인 레이저
대신 저잡음성과 경제성을 갖춘 일반적인 자외선 램프의 사용이 가능할 것으로 기대된다.

영어초록

Recently, with increasing demand for flat-panel display product, methods for large area patterning are required. TIR (total
internal reflection) holographic photo-lithography isstudied as one of the methods of large area lithography. In conventional TIR
holography, light sources for hologram recording and image reconstruction are coherent beams such as laser beams. If the image
is reconstructed with an incoherent light source such a UV lamp, the image noise from the coherence of light will be reduced
and the UV lamp will be a better light source for large area exposure. We analyzed the effect of spectral bandwidth and angular
bandwidth of the light source in image reconstruction and verified image blurring with experiments. For large area patterning
which has micro-scale line width, it is expected that TIR holographic photo lithography by UV lamp will become a low-noise
and low-priced technique.

참고자료

· 없음