실린더 잠자리 눈 렌즈의 정밀도가 선형 빔의 장축 균일도 및 경사도에 미치는 영향 (Effect of the Cylindrical Fly-eye Lens’s Precision on Long-axis Uniformity and Steepness of a Line Beam)

서지정보

· 발행기관 : 한국광학회
· 수록지 정보 : 한국광학회지 / 32권 / 6호 / 296 ~ 305페이지
· 저자명 : 이승민, 송현수, 우희, 김대용, 정진호

초록

본 논문은 OLED 제작 공정에 사용하는 레이저 박리(laser lift-off, LLO) 장비의 실린더 렌즈를 사용하는 선형 빔 광학계의 장축 성능에 대한 연구로서, 실린더 렌즈의 편심을 7가지로 분류하고 정의하였으며, 측정 방법을 제시하였다. 또한 실린더 잠자리 눈 렌즈의 면정밀도와 편심, 사용방식 등이 선형 빔 광학계의 장축 성능에 미치는 영향에 대한 분석 및 실험 결과를 제시하고, 장축 성능을 향상시키기 위한 향후 진행 방향을 제시하였다.

영어초록

This paper reports a study on the long axis performance of the line beam optics used in laser lift-off equipment for the OLED manufacturing process. The centration errors of the cylindrical lens are classified and defined in seven categories, and the measurement methods are presented. The cylindrical fly-eye lens is analyzed theoretically and experimentally to find the influence of the surface shape error and decentering error on the longaxis performance of the line beam optics system. A future research direction is also presented to improve the long axis performance.

참고자료

· 없음