Lloyd 간섭계를 이용한 박막의 굴절률과 두께 측정

서지정보

· 발행기관 : 한국물리학회
· 수록지 정보 : 새물리 / 52권 / 3호 / 261 ~ 266페이지
· 저자명 : 윤한증, 김석원

초록

Lloyd 간섭계는 광원으로부터 스크린에 직접 도달한 광과 시편표면에서
반사되어 스크린에 도달한 광의 간섭을 이용하는 장치이다. 본
연구에서는 파장이 $\lambda$ = 532 nm이고 출력이 100 mW인 diode
pumped Nd : YVO$_4$ 레이저를 광원으로 사용하여 Lloyd 간섭계를
구성하고 박막시편 표면에서 반사된 광과 박막이 입혀지지 않은
기판표면에서 반사된 광들이 각각 이루는 2가지 Lloyd 간섭무늬를
얻었다. 먼저 두께를 다르게 한 세 가지 ZnS 박막을 유리 기판 위에 진공
증착시킨 시편의 두께를 측정한 후 두께가 다른 두 가지 ZnS 박막을
이용하여 박막의 굴절률을 측정하였다. 측정결과 박막두께는 박막제작시
사용된 두께 감시장치의 값과 1.3 \% 이내에서 일치하였으며 굴절률도
참고문헌치와 0.67 \% 이내에서 일치함을 알 수 있었다.

참고자료

· 없음