광단층결맞음영상기를 이용한 레이저 직접 묘화 패턴의 비파괴적 검사 (Non-Destructive Investigation of a Laser Direct Imaging Pattern by Using Optical Coherence Tomography)

서지정보

· 발행기관 : 한국물리학회
· 수록지 정보 : 새물리 / 66권 / 10호 / 1325 ~ 1331페이지
· 저자명 : 이승석, 김주하, 이동헌, 최은서, 김영섭, 신동혁, 정승호, 이지영

초록

본 논문에서는 상용품으로 개발된 레이저 직접 묘화 시스템의 성능을 확인하고자 레이저 직접 묘화로 그려진 광감성 유리의 단층 영상을 비파괴적으로 획득하여 분석하였다. 샘플의 손상없이 격자 패턴에 대한 고해상도 단층 영상을 얻기 위해서 광단층결맞음촬영기(optical coherence tomography, OCT)를 이용하였다. 샘플은 다음과 같이 두 가지를 준비하였다: 한 샘플은 레이저 직접 묘화로 격자 패턴만을 그렸고, 다른 샘플은 처음 샘플과 동일한 격자 패턴을 그린 후 후처리 과정인 열처리와 식각과정을 거쳤다. 실시간으로 획득된 OCT 영상을 이용하여 수평방향 및 수직방향의 단층영상으로 재구현함으로써 광감성 유리에 그려진 패턴의 내부 특성을 자세하게 검사할 수 있었다. 재구현된 OCT 영상을 통해서 확인한 결과 두 샘플 모두 격자 패턴이 후처리 과정과는 무관하게 샘플 깊이 방향으로 잘 유지되고 있었다. 이는 샘플을 절개하여 현미경으로 관찰할 결과와 동일하였다. OCT를 이용함으로써 기존의 광학기법의 한계를 극복하고 좁은 선폭으로 깊게 가공된 패턴에 대한 정보를 손쉽게 획득할 수 있었다. OCT 영상을 이용함으로써 상용품으로 개발된 레이저 직접 묘화 시스템의 노광 성능을 샘플의 물리적인 절개 없이도 시각적으로 평가 할 수 있었다.

영어초록

In this research, a non-destructive cross-sectional image of a photosensitive glass, where grid patterns were imaged by using laser direct imaging (LDI), was obtained and analyzed to check the performance of a commercially-developed LDI system. Optical coherence tomography (OCT) was utilized to obtain high-resolution cross-sectional images of the grid patterns without any physical damage to samples. Two samples were prepared: One was imaged by using only LDI and had only the grid patterns. The other was treated by post-processing such as baking and etching after the same treatment as was used for the former sample. By using high-resolution OCT images acquired in real time, we were able to investigate the features of the patterns imaged on the photosensitive glass in detail by reconstructing the cross-sectional views along the transverse and the vertical directions. The results matched those from a microscope inspection of sectioned sample well. From the OCT images, the performance of the commercially-developed LDI system could be visually evaluated without sample sectioning. If this merit is exploited OCT may be appplied to optimize the processing efficiency.

참고자료

· 없음